大阪大学のHPはこちら(※外部サイトにジャンプします。) 提供開始しているサービス 試作 2次元材料 導波路 プロセス材料(EVUレジスト) 評価 超高圧電子顕微鏡によるミクロンサイズのデバイス内部3次元計測 高分解能電子顕微鏡(TEM/STEM)による原子レベル微細構造評価と元素分布計測 今後提供予定のサービス 未定