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提供開始しているサービス
設計
- CMOS集積回路と高付加価値機能(センサ、フォトニクスなど)の集積化のための設計
試作
- CMOS集積回路と高付加価値機能を集積化したデバイス
- シリコン光導波路
評価
- トランジスタ単素子、集積化デバイスの電気特性
- 組織・組成の大容量高速3次元マッピング(plasma FIB with FE-SEM, EDS, and SIMS)
- 原子構造(原子配列・組成など)および電子状態(化学結合状態、電子準位、荷電状態など)の精密評価(収差補正STEM with EDS and EELS)
今後提供予定のサービス
設計
- CMOS集積回路(デジタル・アナログ)設計伴走支援(2026年4月頃~)
(VDECや商用シャトルサービス等の案内) - CMOS集積回路(ゲート長:5μm)の設計(2026年4月頃~)
試作
- Cu多層配線形成(2026年4月頃~)
- CMOSデバイス(ゲート長:5μm)(2026年10月頃~)
評価
- CMOS集積回路の電気特性(2026年10月頃~)