ARIMニュースレター_038号_2025年7月30日発行

「マテリアル先端リサーチインフラ」では、全国の大学・研究機関が所有する1200件以上の共用設備を用いて、産学官問わず、皆様の研究・開発を支援しております。随時、お問い合わせを受け付けていると共に、設備検索や利用報告書検索より、各種検索項目やフリーワードでの設備・利用報告書の検索ができます。また、得られた材料データを蓄積し、DX革命による新しい材料開発を目指しています。

ARIM-SETI（ARIM-SEmiconductor Technology Infrastructure）
ARIM半導体基盤プラットフォームがスタートしました

ARIM全国25法人と新たに加わった豊橋技術科学大学の26法人に先端的な研究設備と専任の技術スタッフを配置し、半導体分野に係る研究支援を実施します。是非、ご活用ください。

ARIM-SETIへのお問い合わせ

設備検索に令和7年度新規登録設備を追加しました【7月度】

※各設備のページから、直接お問い合わせいただけます。

豊橋技術科学大学（実施体制が整い次第提供予定）

• TH-101　ウェット処理・洗浄装置
• TH-201　金属成膜装置
• TH-202　絶縁膜成膜装置
• TH-221　LPCVD装置
• TH-222　プラズマCVD装置
• TH-301　ドライ加工プロセス装置
• TH-401　酸化・熱処理装置
• TH-411　不純物ドーピング装置
• TH-501　i線露光装置
• TH-502　コンタクト露光装置
• TH-503　マスクレス露光装置
• TH-521　レジスト塗布・現像装置
• TH-601　ダイシング装置
• TH-611　組立・ボンディング
• TH-701　電子顕微鏡
• TH-721　光学観察装置
• TH-801　膜厚評価システム
• TH-821　電気特性評価

令和7年度 試行的利用（随時受付）

募集要領｜試行的利用課題申請書

Webマガジン記事を公開しました

ARIMでは、実施された利用課題の中から、ARIMの活用・支援が大きな効果をもたらした成果、イノベーション創出に大きな影響が期待できる成果、産学官連携によりもたらされた成果を、「秀でた利用成果」として毎年表彰しています。成果の詳細やコラボレーションのストーリーを読みやすくまとめたWebマガジン記事を順次公開しておりますので、ぜひご一読ください。

令和6年度 秀でた利用成果

ARIMの2拠点を活用したKoTカットOPAW振動モード水晶振動子の開発（利用課題名：電子線描画装置を使用した 1GHz OPAW 振動子の電極パターニング） リバーエレテック株式会社　元野 智幸，今 大健，丸山 春樹，芦沢 英紀 東京大学　藤原 誠，水島 彩子，落合 幸徳，三田 吉郎 東北大学　菊田 利行，庄子 征希，鶴谷 敏則，森山 雅昭，戸津 健太郎
量子センシングのためのマイクロ波アンテナ作製 東京大学　小林 研介，佐々木 健人，小河 健介，塚本 萌太，西村 俊亮，中村 祐貴，顧 豪，山本 航輝，小林 拓，須田 涼太郎，原田 怜 東京大学　豊倉 敦，Eric Lebrasseur，天谷 諭，水島 彩子，太田 悦子，落合 幸徳，三田 吉郎 ほか武田先端知スーパークリーンルーム支援チーム

受賞一覧はこちら

ARIMデータポータル

ARIMは、全国的な最先端共用設備体制と高度な技術支援提供体制に加え、先端設備の共用に伴って創出されるマテリアルデータの収集・蓄積を行っています 。

【新着のデータセット】

異種材料集積ハイブリッド光回路の作製　-300mmウェハのウエハレベルプロービングによる光導波路特性評価- 設備名：FormFactor 300mm ウェハプローバ 実施機関：東京科学大学
異種材料集積ハイブリッド光回路の作製　-RIEによるリッジ形成- 設備名：ICPリアクテブイオンエッチング装置 実施機関：東京科学大学

• データセット一覧
• データ駆動型材料研究を加速する「データリファレンスガイド」
• ARIMデータカタログ公開ポリシー
• ライセンス申込・利用案内

データポータルへのお問い合わせ

ニュース・イベント

• 現地開催：2025.07.31（申込締切：7/31正午）
  東京大学：
  武田SCRセミナー第１回「AFMを使用した形状測定のヒント」
• オンライン＋現地開催：2025.08.06（申込締切：8/1）
  産業技術総合研究所ナノプロセシング施設運営室（NPF）、物質・材料研究機構 ARIMセンターハブ担当領域推進室、東京科学大学ナノ構造造形支援事業、北海道大学総合イノベーション創発機構 ナノテクノロジー連携研究推進室：
  「2025年度 第１回ARIM量子・電子マテリアル領域セミナー　施設共用におけるALD成膜のユーザー事例紹介」
• 現地開催：2025.08.07（申込締切：8/1）
  京都大学：
  「透過電子顕微鏡技術講習会」
• オンライン＋現地開催：2025.08.19-21
  （当日まで可（交流会参加ご予定のかたは、できればお早めにお申し込みください。）
  東北大学：
  「第23回MEMS集中講義 in 川崎」
• 現地開催：2025.08.20（空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「透過型電子顕微鏡法」
• オンライン＋現地開催：2025.09.02-04（申込締切　現地参加：7/31、Web参加：8/15）
  分子科学研究所：
  「第19回分子シミュレーションスクール」
• 現地開催：2025.09.04（事前聴講申込は8/月上旬開始予定）
  マテリアル先端リサーチインフラ：
  「データ駆動型マテリアル研究の革新：ARIM設備・データ共用が切り拓く未来」
  ～世界初の試み、実験データの共用と研究の新たな可能性～
• 現地開催：2025.09.04（空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「液中原子間力顕微鏡（AFM）」
• オンライン＋現地開催：2025.09.11-12（申込締切：9/8）
  北陸先端科学技術大学院大学：
  シンポジウム「ナノ物性の可視化と理解：AIと拓くマテリアル解析の新展開」
• 現地開催：2025.09.26（空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「固体NMR装置」
• 現地開催：2025.09.30（申込締切：9/12）
  京都大学：
  「極低温電子顕微鏡講習会」
• 現地開催：2025.10.02（空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「低真空型走査電子顕微鏡（SEM）」
• 現地開催：2025.10.10（空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「FIB-SEM」
• 現地開催：2025.10.16（空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「X線光電子分光法（XPS）」
• 現地開催：2025.10.20（空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「飛行時間型二次イオン質量分析（TOF-SIMS）」
• 現地開催：2025.10.24（空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「X線回折_2」
• 現地開催：2025.10.31
  （10月～12月の間に開催します。空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「電子ビーム描画技術 [JBX-8100FS]」
• 現地開催：2025.10.31
  （10月～12月の間に開催します。空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「電子ビーム描画技術 [ELS-BODEN100]」
• 現地開催：2025.10.31
  （10月～12月の間に開催します。空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「レーザー描画・マスクレス露光技術 [DWL66+ ＆ MLA150]」
• 現地開催：2025.10.31
  （10月～12月の間に開催します。空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]」
• 現地開催：2025.10.31
  （10月～12月の間に開催します。空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「FE-SEM+EDX [SU8000 or SU8230]」
• 現地開催：2025.11.14（空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「リートベルト解析入門_2」
• 現地開催：2025.11.21（空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「ICP-OES」 

イベントカレンダー

令和7年度の設備利用（課題申請）

ARIM実施機関（26法人）にて、随時課題申請を受け付けております。

センターハブ機関

国立研究開発法人 物質・材料研究機構

ハブ機関

国立大学法人 東北大学
国立大学法人 東京大学
国立大学法人 東海国立大学機構 名古屋大学
国立大学法人 京都大学
国立大学法人 九州大学

スポーク機関

国立大学法人 北海道大学
公立大学法人 公立千歳科学技術大学
国立大学法人 山形大学
国立大学法人 筑波大学
国立研究開発法人 産業技術総合研究所
学校法人 早稲田大学
国立大学法人 東京科学大学（旧：東京工業大学）
国立大学法人 電気通信大学
国立大学法人 北陸先端科学技術大学院大学
国立大学法人 信州大学
国立大学法人 名古屋工業大学
学校法人 トヨタ学園豊田工業大学
大学共同利用機関法人 自然科学研究機構 分子科学研究所
国立大学法人 豊橋技術科学大学（実施体制整い次第提供予定）
国立大学法人 大阪大学
国立研究開発法人 日本原子力研究開発機構
国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構
国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学
国立大学法人 広島大学
国立大学法人 香川大学

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