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レーザー顕微鏡によるPTAAのラマン分光- 課題名：
- 阪大 産研 スタッフデータ 2025
- 課題番号：
- JPMXP1225OS9001
- ファイル数：
- 24
- 実施機関：
- 大阪大学
- 装置・プロセス：
-
OS-127：レーザーラマン顕微鏡
- 登録日：
- 2026.3.3
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- トライボフィルム断面のSTEM-EDS分析
- 課題名：
- ナノ構造評価技術開発
- 課題番号：
- JPMXP1225NM2102
- ファイル数：
- 80
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス：
-
NM-502：実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡
NM-517：FIB/SEM精密微細加工装置（Helios 650）
- 登録日：
- 2026.3.3
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- i線ステッパ露光パターンエッチングおよびパターンサイズ1.0μm以下へのアルミ配線形成状況_Process flow
- 課題名：
- アルミ配線（線幅1.0μm以下）及び絶縁膜（TEOS膜）の形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5004
- ファイル数：
- 4
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
プロセスフロー
- 登録日：
- 2026.2.25
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- i線ステッパ露光パターンエッチングおよびパターンサイズ1.0μm以下へのアルミ配線形成状況_Wet cleaning_etch
- 課題名：
- アルミ配線（線幅1.0μm以下）及び絶縁膜（TEOS膜）の形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5004
- ファイル数：
- 4
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-211：プラズマクリーナー
TU-002：有機ドラフトチャンバー
TU-004：スピン乾燥機
TU-315：断面SEM
- 登録日：
- 2026.2.25
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- i線ステッパ露光パターンエッチングおよびパターンサイズ1.0μm以下へのアルミ配線形成状況_RIE
- 課題名：
- アルミ配線（線幅1.0μm以下）及び絶縁膜（TEOS膜）の形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5004
- ファイル数：
- 27
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-206：アルバックICP-RIE#2
- 登録日：
- 2026.2.25
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- i線ステッパ露光パターンエッチングおよびパターンサイズ1.0μm以下へのアルミ配線形成状況_Lithography
- 課題名：
- アルミ配線（線幅1.0μm以下）及び絶縁膜（TEOS膜）の形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5004
- ファイル数：
- 4
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-062：コータデベロッパ
TU-063：i線ステッパ
TU-060：現像ドラフト
- 登録日：
- 2026.2.25
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- i線ステッパ露光パターンエッチングおよびパターンサイズ1.0μm以下へのアルミ配線形成状況_Evaporation
- 課題名：
- アルミ配線（線幅1.0μm以下）及び絶縁膜（TEOS膜）の形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5004
- ファイル数：
- 4
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-167：電子ビーム蒸着装置
- 登録日：
- 2026.2.25
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- i線ステッパ露光パターンエッチングおよびパターンサイズ1.0μm以下へのアルミ配線形成状況_CVD
- 課題名：
- アルミ配線（線幅1.0μm以下）及び絶縁膜（TEOS膜）の形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5004
- ファイル数：
- 39
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-154：住友精密TEOS PECVD
TU-302：膜厚計
- 登録日：
- 2026.2.25
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- Arイオンビームミリング法によるピラー加工形状の基板傾斜角による違いと時間変化
- 課題名：
- SiO2のドライエッチング
- 課題番号：
- JPMXP1225NM2010
- ファイル数：
- 79
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス：
-
NM-669：イオンビームミリング複合装置 [16IBE-NIMS_SS]
- 登録日：
- 2026.2.24
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- イオンビームミリングによるAu薄膜加工
- 課題名：
- イオンビームミリングによるAu薄膜加工
- 課題番号：
- JPMXP1225NM2016
- ファイル数：
- 78
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス：
-
NM-669：イオンビームミリング複合装置 [16IBE-NIMS_SS]
- 登録日：
- 2026.2.24
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- 成膜装置による膜特性の差異確認(2022年度:PD-220)
- 課題名：
- 成膜装置による膜特性の差異確認
- 課題番号：
- JPMXP1222WS0004
- ファイル数：
- 32
- 実施機関：
- 早稲田大学
- 装置・プロセス：
-
WS-030：プラズマCVD装置
- 登録日：
- 2026.2.19
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- マイクロギアの試作_DRIE
- 課題名：
- マイクロギアの試作
- 課題番号：
- JPMXP1224GA0121
- ファイル数：
- 4
- 実施機関：
- 香川大学
- 装置・プロセス：
- 登録日：
- 2026.2.19
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- SQUID（MPMS-XL7）によるキラル磁性体の磁気物性測定
- 課題名：
- キラル磁性体の磁気物性
- 課題番号：
- JPMXP1222MS1047
- ファイル数：
- 23
- 実施機関：
- 自然科学研究機構
- 装置・プロセス：
-
MS-219：SQUID（MPMS-XL7）
- 登録日：
- 2026.2.18
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- Ni-GaAsの原子分解能STEM像
- 課題名：
- 化合物半導体デバイスの分析
- 課題番号：
- JPMXP1223OS0013
- ファイル数：
- 6
- 実施機関：
- 大阪大学
- 装置・プロセス：
-
OS-003：200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡
- 登録日：
- 2026.2.18
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- 積層配線_Au120_Pt170_Ti30_processflow_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- ファイル数：
- 4
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
プロセスフロー
- 登録日：
- 2026.2.16
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- 積層配線_Au120_Pt170_Ti30_lithography_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- ファイル数：
- 6
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-069：両面アライナ(8")
TU-060：現像ドラフト
TU-211：プラズマクリーナー
TU-306：Tencor 段差計
TU-308：デジタル顕微鏡
- 登録日：
- 2026.2.16
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- 積層配線_Au120_Pt170_Ti30_cleaning_liftoff_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- ファイル数：
- 11
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-001：エッチングチャンバー
TU-002：有機ドラフトチャンバー
- 登録日：
- 2026.2.16
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- 積層配線_Au220_Pt50_Ti40_processflow_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- ファイル数：
- 4
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
プロセスフロー
- 登録日：
- 2026.2.16
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- 積層配線_Au220_Pt50_Ti40_lithography_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- ファイル数：
- 6
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-069：両面アライナ(8")
TU-060：現像ドラフト
TU-211：プラズマクリーナー
TU-306：Tencor 段差計
TU-308：デジタル顕微鏡
- 登録日：
- 2026.2.16
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- 積層配線_Au220_Pt50_Ti40_sputtering_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- ファイル数：
- 4
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-159：芝浦スパッタ装置（冷却型）
TU-320：4探針測定装置
- 登録日：
- 2026.2.16
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