マテリアルDXによる新しい材料開発

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スパッタ成膜したAl膜の結晶構造のXRD評価

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Sample1-0-15k

カーボンの薄片上の金属微粒子の試料作製と観察/Sample Preparation and TEM Observation of Metal Nanoparticles on Carbon Thin Films

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オックスフォードインスツルメント社製ALD装置〔FlexAL〕を用いたALD成膜レシピとその膜特性（2022年度）

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レジスト膜厚の温度・粘度依存性

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0271-00-3-080-03.png

高純度オゾンを用いたALD Al2O3膜および SiO2膜の特性評価

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p

ICP-RIE_Spicaにおけるガス流量及び圧力とエッチング形状に関する実験　[プロセスデータ編]

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Φ2000nm.png

Arイオンビームミリング法によるピラー加工形状の基板傾斜角による違いと時間変化

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24AT0127-1_0000009918.jpg

原子層堆積装置を用いたALD成膜実験(ALD)

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Beam（中加工）、Pattern（Rectangle）で加工した場合の材料例

集束イオンビーム（FIB）加工データベース（Helios 5UX）

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Diamond

【カーボンデータベース】炭素材料のラマン分光　KU-504-1 ラマン分光

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層状ペロブスカイト酸化物強誘電体のカチオン分布解析 【HK-101_Titan3 G2 60-300_Velox】
2026-05-13
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形態制御材料の構造及び組成解析【HK-101_Titan3 G2 60-300_TEM】
2026-05-13
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形態制御材料の構造及び組成解析【HK-101_Titan3 G2 60-300_Velox】
2026-05-13
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鉄基材料中の微細析出物の照射誘起非晶質化 【HK-101_Titan3 G2 60-300_Velox】
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酸化インジウム薄膜の結晶性評価 【HK-101_Titan3 G2 60-300_Velox】
2026-05-13
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酸化インジウム薄膜の結晶性評価 【HK-101_Titan3 G2 60-300_TEM】
2026-05-13
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鉄基材料中の微細析出物の照射誘起非晶質化 【HK-101_Titan3 G2 60-300_EDS】
2026-05-13
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鉄基材料中の微細析出物の照射誘起非晶質化 【HK-101_Titan3 G2 60-300_TEM】
2026-05-13
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半導体量子ドットを用いた光スピン機能性素子の作製 【HK-101_Titan3 G2 60-300_Velox】
2026-05-13
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酸化ガリウムの組成分析 【HK-101_Titan3 G2 60-300_Velox】
2026-05-13
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