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カーボンの薄片上の金属微粒子の試料作製と観察/Sample Preparation and TEM Observation of Metal Nanoparticles on Carbon Thin Films- 課題名:
- カーボンの薄片上の金属微粒子の試料作製と観察
- 課題番号:
- JPMXP1225NU0036
- ファイル数:
- 79
- 実施機関:
- 名古屋大学
- 装置・プロセス:
-
NU-103:高分解能透過電子顕微鏡システム
- 登録日:
- 2025.8.26
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ICP-RIE_Spicaにおけるガス流量及び圧力とエッチング形状に関する実験 [プロセスデータ編]- 課題名:
- ICP-RIE_Spicaにおけるガス流量及び圧力とエッチング形状に関する実験
- 課題番号:
- JPMXP1225NM2032
- ファイル数:
- 50
- 実施機関:
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス:
-
NM-662:低ダメージ精密エッチング装置 [Spica]
- 登録日:
- 2025.10.2
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OLED材料の大気中光電子収量分光データセット/Ambient Photoelectron Yield Spectroscopy Dataset of OLED Materials- 課題名:
- 大気中光電子収量分光の有機半導体の標準データ
- 課題番号:
- JPMXP1225NM2501
- ファイル数:
- 243
- 実施機関:
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス:
-
NMZ-001 大気中光電子収量分光(PYS)
- 登録日:
- 2025.8.7
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Arイオンビームミリング法によるピラー加工形状の基板傾斜角による違いと時間変化- 課題名:
- SiO2のドライエッチング
- 課題番号:
- JPMXP1225NM2010
- ファイル数:
- 88
- 実施機関:
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス:
-
NM-669:イオンビームミリング複合装置 [16IBE-NIMS_SS]
- 登録日:
- 2025.8.27
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レジスト膜厚の温度・粘度依存性- 課題名:
- 膜厚制御に向けたSU-8フォトレジストの温度・粘度・膜厚の計測
- 課題番号:
- JPMXP1224GA2009
- ファイル数:
- 72
- 実施機関:
- 香川大学
- 装置・プロセス:
-
GA-003:スピンコータ-
GA-016:光干渉式膜厚測定装置
- 登録日:
- 2025.4.16
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スパッタ成膜したAl膜の結晶構造のXRD評価- 課題名:
- 名古屋大学加工FSデータ
- 課題番号:
- JPMXP1223NU5201
- ファイル数:
- 18
- 実施機関:
- 名古屋大学
- 装置・プロセス:
-
NU-203:薄膜X線回折装置
NU-205:3元マグネトロンスパッタ装置
- 登録日:
- 2023.10.27
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オックスフォードインスツルメント社製ALD装置〔FlexAL〕を用いたALD成膜レシピとその膜特性(2022年度)- 課題名:
- ALD成膜基礎データ(2022年)
- 課題番号:
- JPMXP1222AT0458
- ファイル数:
- 41
- 実施機関:
- 産業技術総合研究所
- 装置・プロセス:
-
AT-102:原子層堆積装置_3〔FlexAL〕
- 登録日:
- 2025.10.21
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デュアルビームFIB-SEM加工装置(Quanta)による熱電材料中のナノ構造組織の解析_β-FeSi2の加工- 課題名:
- 機能性向上を目指した熱電材料中のナノ構造組織の解析
- 課題番号:
- JPMXP1222KU0023
- ファイル数:
- 40
- 実施機関:
- 九州大学
- 装置・プロセス:
-
KU-005:デュアルビームFIB-SEM加工装置
- 登録日:
- 2025.10.1
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ICP-RIEによるSiO2エッチングのRF電源出力依存性- 課題名:
- CHF3ガスによるSiO2エッチングのRF電源出力依存性
- 課題番号:
- JPMXP1224NM2001
- ファイル数:
- 47
- 実施機関:
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス:
-
NM-662:低ダメージ精密エッチング装置 [Spica]
NM-621:FE-SEM [S-4800]
- 登録日:
- 2024.10.31
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蒸気二流体によるパラジウム(Pd)薄膜のリフトオフ- 課題名:
- 蒸気二流体によるパラジウム(Pd)薄膜のリフトオフ
- 課題番号:
- JPMXP1225NM2013
- ファイル数:
- 409
- 実施機関:
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス:
-
NM-668:蒸気二流体洗浄装置 [SSM101]
- 登録日:
- 2025.11.6
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高分子表面のTOF-SIMS測定- 課題名:
- 高分子表面のTOF-SIMS測定
- 課題番号:
- JPMXP1222NI1101
- ファイル数:
- 27
- 実施機関:
- 名古屋工業大学
- 装置・プロセス:
-
NI-011:飛行時間型二次イオン質量分析装置
- 登録日:
- 2025.9.29
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フラーレン系材料の大気中光電子収量分光データセット/Ambient Photoelectron Yield Spectroscopy Dataset of Fullerene-based Materials- 課題名:
- 大気中光電子収量分光の有機半導体の標準データ
- 課題番号:
- JPMXP1225NM2501
- ファイル数:
- 45
- 実施機関:
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス:
-
NMZ-001 大気中光電子収量分光(PYS)
- 登録日:
- 2025.8.6
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X線回折装置(XRD)の加工データ集(ALD_ZrO2薄膜_温度依存性)(2023年度)- 課題名:
- AIST NPF加工データ集(2023年)
- 課題番号:
- JPMXP1223AT0099
- ファイル数:
- 10
- 実施機関:
- 産業技術総合研究所
- 装置・プロセス:
-
AT-070:X線回折装置(XRD)
- 登録日:
- 2025.10.21
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スパッタ成膜したAl膜の表面形状のAFM評価- 課題名:
- 名古屋大学加工FSデータ
- 課題番号:
- JPMXP1223NU5201
- ファイル数:
- 42
- 実施機関:
- 名古屋大学
- 装置・プロセス:
-
NU-205:3元マグネトロンスパッタ装置
NU-204:原子間力顕微鏡
- 登録日:
- 2024.10.29
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PHI-QuanteraⅡの日常点検データ(2023年度)- 課題名:
- 光電子分光装置の日常点検データ(2023年度)
- 課題番号:
- JPMXP1223AT0423
- ファイル数:
- 3678
- 実施機関:
- 産業技術総合研究所
- 装置・プロセス:
-
AT-103:原子層堆積装置_3付帯XPS装置(アルバック・ファイ)
- 登録日:
- 2025.10.14
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熱電変換材料開発のためのFe基ホイスラー化合物の顕微蛍光X線分析装置による組成分析- 課題名:
- 新規熱電変換材料開発のためのFe基ホイスラー化合物の組成分析
- 課題番号:
- JPMXP1222NI1202
- ファイル数:
- 30
- 実施機関:
- 名古屋工業大学
- 装置・プロセス:
-
NI-012:顕微蛍光X線分析装置
- 登録日:
- 2025.9.29
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サムコ社製ALD装置〔AD-100LP〕を用いたALD成膜レシピとその膜特性- 課題名:
- ALD成膜基礎データ(2022年)
- 課題番号:
- JPMXP1222AT0458
- ファイル数:
- 65
- 実施機関:
- 産業技術総合研究所
- 装置・プロセス:
-
AT-099:サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP]
- 登録日:
- 2025.10.14
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プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)の加工データ集(SiN膜 LAL200ウェットエッチング)(2023年度)- 課題名:
- AIST NPF加工データ集(2023年)
- 課題番号:
- JPMXP1223AT0099
- ファイル数:
- 24
- 実施機関:
- 産業技術総合研究所
- 装置・プロセス:
-
AT-081:プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)
- 登録日:
- 2025.10.21
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- ウェアラブルデバイス向け伸縮性電極の作製
- 課題名:
- ウェアラブルデバイス向け伸縮性電極の作製
- 課題番号:
- JPMXP1222UT1201
- ファイル数:
- 3
- 実施機関:
- 東京大学
- 装置・プロセス:
-
UT-913:UVレーザープリント基板加工装置
- 登録日:
- 2025.8.29
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Al膜のスパッタ成膜- 課題名:
- 名古屋大学加工FSデータ
- 課題番号:
- JPMXP1223NU5201
- ファイル数:
- 18
- 実施機関:
- 名古屋大学
- 装置・プロセス:
-
NU-205:3元マグネトロンスパッタ装置
- 登録日:
- 2024.10.29
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