日時
2025年8月19日（火）～8月21日（木）
場所
かわさき新産業創造センター AIRBIC 1階 会議室（川崎市幸区新川崎7-7）
主催
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
MEMSパークコンソーシアム
共催
４大学ナノマイクロファブリケーションコンソーシアム
東北大学ナノテク融合技術支援センター
東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター
定員
なし
参加費
無料（交流会は有料）
参加申し込み
Webフォーム https://forms.gle/yViJ1d5m1ikj3i5o7
申込締切：当日まで可（交流会参加ご予定のかたは、できればお早めにお申し込みください。なお後日の変更は可能です）
概要
東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは2003年よりMEMS集中講義を企画開催しており、講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に学習できます。
23回目となる今回は、東京大学三宅先生、川崎市のご協力により、8月19日～21日の3日間かわさき新産業創造センター AIRBICで開催します。
参加費は無料です。お手数ですが、事前のお申し込みをお願いいたします。
昨年と同様、現地開催とネット配信のハイブリッドで開催しますが、よろしければぜひ会場にお越しいただき、講師や参加者の皆様との情報交換、交流の場として活用ください。
8月20日の夕方に交流会も企画しています。ご参加は3日間すべてではなく、一部のみでも構いません。皆様とお会いできることを楽しみにしております。
詳細
【第23回MEMS集中講義 in 川崎 プログラム】
【講師】（五十音順）
小野崇人、金森義明、 鈴木裕輝夫、田中秀治、塚本貴城、戸津健太郎、芳賀洋一、日暮栄治、三宅亮
【8月19日(火)】
9:00 受付開始
9:30-12:00 マイクロマシニング1（概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜）[戸津健太郎（東北大学）]
13:00-16:00 マイクロマシニング2（接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境）[戸津健太郎（東北大学）]
16:10-18:00 マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、集積化MEMS技術 [鈴木裕輝夫(東北大)]
【8月20日(水)】
8:30 受付開始
9:00-10:20 研究紹介、NANOBICや川崎市の活動紹介（仮）[三宅亮（東京大）、川崎市担当者]
10:30-12:30 加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ [塚本貴城（東北大）]
13:30-15:00 IT・通信・自動車応用（圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス）[田中秀治（東北大）]
15:10-17:00 MEMSの新しい話題 [田中秀治（東北大）]
17:30-19:00 交流会（AIRBIC 1階レストランを予定）
【8月21日(木)】
8:30 受付開始
9:00-12:30 製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス [小野崇人（東北大）]
13:30-15:00 異種材料集積技術の進展とセンサ・MEMS応用 [日暮栄治（東北大）]
15:10-16:40 医療・ヘルスケア（健康管理）応用 [芳賀洋一（東北大）]
16:50-17:40 メタレンズ・6G用メタマテリアル [金森義明（東北大）]
【講義資料】
冊子は配布いたしません。
講義資料は準備が整い次第、ダウンロードできるようにいたします。
- 開催案内 [PDF形式／251.46KB]
お問い合わせ
MEMSパークコンソーシアム事務局
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
（代表電話）022-229-4113
齋藤 哲郎 E-mail: t-saitoh(at)tohoku.ac.jp
小林みゆき E-mail: miyuki.kobayashi.c2(at)tohoku.ac.jp
※(at)を@に置き換えて下さい。
ホームページ
[URL] https://www.mems-pc.jp/openseminar/opense95.html
最新情報は、イベントWebサイトでご確認ください。
