データ編
登録ファイル
ARIM登録ファイル：.spe
出力フォーマット：スペクトルモードで得られる.speファイルをアルバック・ファイ社のコンバーターである「MPExport.exe」で.txtへ変換する。その変換された.txtに含まれるファイルからメタデータ等を抽出しています。
手入力データ
測定にかかる手入力項目は、以下の情報を入力する項目を設けています。
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手入力 パラメータ |
日本語語彙 |
英語語彙 |
入力条件 |
単位 |
|---|---|---|---|---|
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annotation |
アノテーション |
Annotation |
アノテーション（「予備測定」、「測定中にスペクトル形状の変化あり」などの自由記述）があれば記入してください。 |
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charge_neutralization_ |
帯電中和の有無 |
Charge Neutralization On |
帯電中和を使った場合はチェックしてください。 True/false |
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mount |
サンプルのホルダーへのマウント方法 |
Sample Mounting |
サンプルのホルダーへのマウント方法（ネジ止め、サンプル裏面に導電性粘着テープを使用）や固定具の情報（マスクやネジや粘着テープの材質や商品名や型番など） |
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ion_beam_ |
イオンビームスパッタの有無 |
Ion Sputtering On |
イオンビームスパッタを使った場合はチェックしてください。 True/false |
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ion_beam_ |
イオンビームスパッタのイオン |
Ion Beam Species |
イオンビームスパッタのガス種を記載してください。 |
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ion_sputter_acc_vol |
イオンビームスパッタのイオン銃の加速電圧 |
Ion Beam Acceleration Voltage |
イオン銃の加速電圧 |
V |
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ion_sputter_time |
イオンビームスパッタ時間 |
Ion Sputtering Time |
イオンビームスパッタ時間（秒単位） |
sec |
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bicfitting |
BIC-Fittingの有無 |
BIC-Fitting On/Off |
BIC-Fittingを実行する場合はチェックしてください。 True/false |
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limit_energy_range |
BIC-FittingのBinding Energy範囲 |
BIC-Fitting Binding Energy Range |
BIC-Fittingの対象とするBinding Energy範囲の上限値を指定 |
eV |
選定メタデータのjsonスキーマ
ARIMのメタデータ取得にかかる選定メタデータのmetadata-def.jsonは、以下のように定義されています。
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出力計測パラメータ |
日本語語彙 |
英語語彙 |
単位 |
|---|---|---|---|
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FileDate |
測定日 |
Measurement Date |
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Technique |
測定手法 |
Measurement Technique |
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InstrumentModel |
測定装置 |
Measurement Instrument |
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ExperimentID |
実験名 |
Experiment ID |
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PhotoFilename |
ホルダーにマウントしたサンプルの写真ファイル |
Photo File of Samples Mounted on Holder |
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FileType |
測定ファイルの種類 |
File Type |
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AnalyserWorkFcn |
検出器の仕事関数 |
Analyser Work Function |
eV |
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SourceAnalyserAngle |
X線ビームと検出器の角度 |
Angle between Xray Beam and Analyser |
deg |
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TakeoffAngle |
サンプルホルダーとアナライザーの角度関係（取り出し角） |
Take off Angle (TOA) |
deg |
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AnalyserSolidAngle |
検出器の取込立体角度 |
Analyser Solid Angle |
sr |
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AnalyserMode |
検出器のスキャンモード |
Analyser Scan Mode |
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XraySource |
X線源種類 |
Xray Source Label |
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XrayPower |
X線源強度 |
Xray Source Strength |
W |
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XrayBeamDiameter |
X線ビーム径 |
Xray Beam Diameter |
um |
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Peak_Name |
元素種と遷移状態 |
Species Label and Transition |
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Pass_Energy |
検出器のパスエネルギー値 |
Analyser Pass Energy |
eV |
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Abscissa_Start |
横軸の開始点 |
Abscissa Start |
eV |
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Abscissa_End |
横軸の終了点 |
Abscissa End |
eV |
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Abscissa_Increment |
横軸間隔 |
Abscissa Increment |
eV |
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Collection_Time |
信号計測時間（スペクトルデータ1点当たりの総積算時間） |
Signal Collection Time per Spectral Data Point |
s |
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SurvNumCycles |
全スペクトル領域の測定の積算回数（サイクル数） |
Cumulative Number of Measurements over All Spectral Range (Number of Cycles) |
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Peak_Sweep_Number |
スペクトル領域別の測定の積算回数（スイープ数） |
Cumulative Number of Measurements by Spectral Region (Number of Sweeps) |
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Total_Acquision_Number |
スペクトル領域別の測定の積算回数の総和（スイープ数にサイクル数を乗算した値） |
Sum of Cumulative Number of Measurements by Spectral Region (Multiplication of Number of Sweeps and Cycles) |
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XLabel |
横軸ラベル（単位） |
Abscissa Label (Unit) |
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YLabel |
縦軸ラベル（単位） |
Corresponding Variables Label (Signal Counting Mode) |
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謝辞
アルバック・ファイ社には、推奨実験条件ならびに試料ホルダーへのセッティング方法について、貴重なご助言をいただきました。厚くお礼申し上げます。