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装置編
データ編
データ編
登録ファイル
ARIM登録ファイル：.vms（もしくは.npl）
出力フォーマット：日本電子社のXPS出力フォーマットには、*.ssf（バイナリ）, *.csv, *.vms（もしくは*.npl）などがありますが、ARIM事業においては、可読性のあるvamasフォーマット（.vms or .npl）を対象として行います。
手入力データ
測定にかかる手入力項目は、以下の情報を入力する項目を設けています。
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手入力 |
日本語語彙 |
英語語彙 |
入力条件 |
単位 |
|---|---|---|---|---|
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sample_pretreatment |
試料の前処理 |
Sample Pretreatment |
「試料を乳鉢ですり潰した」「プラズマ処理した」「エタノールで超音波洗浄した」など測定直前の試料の前処理を書いてください |
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monochrome |
モノクロ利用時 |
Using Monochrome |
モノクロ利用した場合はチェックしてください True/false |
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annotation |
アノテーション |
Annotation |
アノテーション（「予備測定」、「測定中にスペクトル形状の変化あり」などの自由記述）があれば記入してください |
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charge_neutralization_on |
帯電中和の有無 |
Charge Neutralization On |
帯電中和を使った場合はチェックTrue/false |
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mount |
サンプルのホルダーへのマウント方法 |
Sample Mounting |
サンプルのホルダーへのマウント方法（ネジ止め、サンプル裏面に導電性粘着テープを使用）や固定具の情報（マスクやネジや粘着テープの材質や商品名や型番など） |
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ion_beam_on |
イオンビームスパッタの有無 |
Ion Sputtering On |
イオンビームスパッタを使った場合はチェックしてください。 True/false |
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ion_sputter_acc_vol |
イオンビームスパッタのイオン銃の加速電圧 |
Ion Beam Acceleration Voltage |
イオン銃の加速電圧 |
V |
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ion_sputter_time |
イオンビームスパッタ時間 |
Ion Sputtering Time |
イオンビームスパッタ時間（秒単位） |
sec |
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sample_holder_angle |
サンプルホルダーとアナライザーの角度関係（取り出し角） |
Take off Angle (TOA) |
できるだけサンプルホルダーの法線方向から測った角度を記入して下さい |
deg |
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bicfitting |
BIC-Fittingの有無 |
BIC-Fitting On/Off |
BIC-Fittingを実行する場合はチェック True/false |
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limit_energy_range |
BIC-FittingのBinding Energy範囲 |
BIC-Fitting Binding Energy Range |
BIC-Fittingの対象とするBinding Energy範囲の上限値を指定 |
eV |
選定メタデータのjsonスキーマ
ARIMのメタデータ取得にかかる選定メタデータのmetadata-def.jsonは、以下のように定義されています。
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出力計測パラメータ |
日本語語彙 |
英語語彙 |
単位 |
|---|---|---|---|
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date |
測定日 |
Measurement Date |
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|
technique |
分析方法 |
Technique |
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sample_identifier |
試料 |
Sample |
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institution_identitifier |
機器名 |
Instrument |
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experiment_identifier |
実験名 |
Experiment |
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|
experiment_mode |
実験方法 |
Experimental Mode |
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|
scan_mode |
スキャンモード |
Scan Mode |
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|
number_of_spectral_regions |
スペクトル領域数 |
Number of Spectral Regions |
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|
species_label |
元素種 |
Species Label |
|
|
transition_or_charge_state_label |
遷移またはチャージ状態 |
Transition or Charge State |
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|
analysis_source_label |
X線源種類 |
X-ray Source Label |
|
|
analysis_source_characteristic_energy |
X線源エネルギー |
X-ray Source Energy |
eV |
|
analysis_source_strength |
X線源強度 |
X-ray Source Strength |
W |
|
analyser_mode |
検出器モード
|
Analyser Mode
|
|
|
analyser_pass_energy_or_retard_ratio_or_mass_resolution |
検出器のパスエネルギー |
Analyser Pass Energy |
eV |
|
analyser_work_function_or_acceptance_energy_of_atom_or_ion |
検出器の仕事関数 |
Analyser Work Function |
eV |
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abscissa_label |
横軸ラベル |
Abscissa Label |
|
|
abscissa_units |
横軸単位 |
Abscissa Unit |
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abscissa_start |
横軸開始値 |
Abscissa Start |
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abscissa_increment |
横軸間隔 |
Abscissa Increment |
|
|
corresponding_variable_labels |
縦軸の変数ラベル |
Corresponding Variables Label |
|
|
signal_mode |
信号計数モード |
Signal Counting Mode |
|
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signal_collection_time |
信号計測時間 |
Signal Collection Time |
sec |
|
number_of_scans_to_compile_this_block |
スキャン積算数 |
Number of Scans |
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YLabel |
縦軸ラベル（単位） |
Corresponding Variables Label (Signal Counting Mode) |
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データ構造化処理・データ解析
概要： BIC fittingツール [1]
XPSのナロースペクトルのピーク分離を自動化したBIC fittingツールは，さまざまなピーク本数から成る最大155通りの初期値を元にピークフィッティングならびにバックグラウンドの自動推定を実行し，その結果をベイズ情報量規準(Bayesian information criterion, BIC)で評価して上位の解のパターンを出力します．
以下に示す6枚の図のうち，左上の図はフィッティングの解を構成するピーク本数 K に対するBICの値です．BICはフィッティングの良さとモデルの複雑さをバランスよく評価する指標で，BICの小さい解はピーク数が少なくかつフィッティングが良好なものとなります．その他の図は解の候補で，BICの小さい順にランクの値を付け，ピーク本数 K の値とともに示されます．図中の shirley は Shirley のバックグラウンドを用いることを示します．
ライブラリ： 非公開
リポジトリ： 非公開
クレジット： 非公開
謝辞
日本電子社には、推奨実験条件、試料ホルダーへのセッティング方法ならびに校正方法や消耗品の内容について、貴重なご助言をいただきました。厚くお礼申し上げます。