データリファレンスガイド　SEMデータ編（日立ハイテク）

データ編

登録ファイル

 

	ファイルの種類	登録ファイル
ARIM登録ファイル	画像ファイル	.jpg, .png, .bmp, .tiffなど
	測定条件ファイル	.txt

日立ハイテクのSEM の出力ファイルとして、撮像した画像ファイルと測定条件を含むテキストファイルの2つが得られます。ARIM では双方のファイルをペアとして登録することを必須とします。

 

手入力データ

測定にかかる手入力項目は、以下の情報を入力する項目を設けています。

●共通項目

手入力 パラメータ	日本語語彙	英語語彙	入力条件	単位
Sample_Form	サンプル形状	Sample Form	"粉体", "バルク", "包埋樹脂", "基板・板材", "フィルム", "線材", "TEMグリッド", "液体", "気体", "その他"
Sample_Mounting_Method	試料マウント方法	Sample Mounting Method	"カーボンテープ", "Cuテープ", "カーボンペースト", "金属ペースト", "機械固定", "その他"
Coating_Material	コーティング材料	Coating Material	"なし", "C", "Au", "Pt", "Pt-Pd", "W", "Os", "Ir", "その他"
Coating_Method	コーティング手法	Coating Method	"なし", "スパッタ", "真空蒸着", "CVD", "SEM（EB-DEPO）", "FIB", "その他"
Coating_Thickness	コーティング膜厚（推定値含む）	Coating Thickness (Including estimated value)		nm

●金属・無機系

手入力 パラメータ	日本語語彙	英語語彙	入力条件	単位
Pretreatment	観察面作成方法	Pretreatment	"処理なし", "切断", "破断・劈開", "機械研磨", "エッチング", "イオンミリング"

●有機系

手入力 パラメータ	日本語語彙	英語語彙	入力条件	単位
Fixation_Methods	化学固定	Fixation Methods
Conductive Staining_Methods	導電染色	Conductive Staining Methods
Dehydration	脱水	Dehydration
Drying	乾燥	Drying

●機種依存項目の一例

手入力 パラメータ	日本語語彙	英語語彙	入力条件	単位
Objective_ Aperture_Hole_Diameter	対物絞りの穴径	Objective Aperture Hole Diameter	"100（ 焦点感度： 浅い）", "50（ 焦点感度： やや浅い）", "50（ 焦点感度： やや深い）", "30（焦点感度： 深い）	um
Probe_Current	プローブ電流	Probe Current		A
Absorption_ Current	吸収電流	Absorption Current		A
Atmosphere	測定雰囲気	Atmosphere	“大気中”, “N2雰囲気”, “真空下”, “その他”

 

選定メタデータのjsonスキーマ

ARIMのメタデータ取得にかかる選定メタデータのmetadata-def.jsonは、以下のように定義されています。

●全機種共通分

出力計測パラメータ	日本語語彙	英語語彙	単位
Date	測定日	Measurement Date
Time	測定時刻	Measurement Time
InstructName	装置型番	Instrument Model
AcceleratingVoltage	加速電圧	Accelerating Voltage	kV
Magnification	倍率	Magnification
SignalName	画像信号	Signal Name
DisplaySignalName	画像信号	Signal Name
WorkingDistance	作動距離	Working Distance	mm
StagePositionT	ステージ傾斜角	Stage Tilt Angle	deg
PixelSize	ピクセルサイズ	Pixel Size	nm
ScanSpeed	走査速度	Scan Speed	sec

●機関選択

出力計測パラメータ	日本語語彙	英語語彙	単位
DecelerationVoltage	減速電圧	Deceleration Voltage	kV
DecelerationMode	減速モード	Deceleration Mode
SpecimenBias	標本バイアス	Specimen Bias	kV
FilamentCurrent	フィラメント電流	Filament Current	A
EmissionCurrent	エミッション電流	Emission Current	nA
Vacuum	試料室真空度	Vacuum Mode	Pa
DisplaySignalName	画像信号	Signal Name

 

登録テンプレート

metadata-def.json と手入力項目の組み合わせにより、下記6 種類の登録テンプレートが存在します。

●全機種共通分

登録テンプレート	metadata-def		手入力項目
	共通	機関 選択	共通	金属・無機系	有機系	機種 依存
（1） Common-Inorganic	◯	ー	◯	◯	ー	◯
（2） Common-Organic	◯	ー	◯	ー	◯	◯
（3） AddCommon-Inorganic	◯	◯	◯	◯	ー	◯
（4） AddCommon-Organic	◯	◯	◯	ー	◯	◯
（5） MIN	◯	ー	◯	ー	ー	ー
（6） MAX	◯	◯	◯	◯	◯	◯

 

謝辞

日立ハイテク社には、推奨実験条件、試料ホルダーへのセッティング方法ならびに校正方法や消耗品の内容について、貴重なご助言をいただきました。厚くお礼申し上げます。