データセット名：異種材料集積ハイブリッド光回路の作製 -RIEによるリッジ形成-
課題名：異種材料集積ハイブリッド光回路の作製
データセット登録者（所属機関）：東工大 西山（東京工業大学）
- 課題番号：
- JPMXP1223IT0005
- 実施機関：
- 東京科学大学（旧東京工業大学）
要約
異種材料集積を利用した大規模光集積回の実現に向けた技術開発を行った。
シリコン細線導波路が形成された基板に、有機金属気相成長法で成長したInP/GaInAsP系MQWを活性層とする1.55µm帯レーザエピウエハを貼り付け、リッジ型レーザを作製した。リッジ加工はリアクティブイオンエッチング（RIE）で行った。本データは、所望のリッジ形状を得るためのRIE条件（ICPパワー／バイアス）によるリッジ断面形状の変化を系統的に示したもので、ICPパワー：250W、バイアス：50Wで最適なリッジ形状を得た。
キーワード・タグ
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データメトリックス
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データインデックス
- 登録日：
- 2025.07.09
- エンバーゴ解除日：
- 2023.09.04
- データセットID：
- 98217dcf-816d-46c4-ab99-33a1181e0061
- データタイル数：
- 11
- ファイル数：
- ファイルサイズ：
- 2.15MB