利用報告書 / User's Reports

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【公開日:2025.06.10】【最終更新日:2025.03.03】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24HK0051

利用課題名 / Title

電気化学反応を加速する構造電極の作成

利用した実施機関 / Support Institute

北海道大学 / Hokkaido Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用(ARIM事業参画者以外)/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)加工・デバイスプロセス/Nanofabrication(副 / Sub)物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis

【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions(副 / Sub)高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed

キーワード / Keywords

ALD,スパッタリング/ Sputtering,リソグラフィ/ Lithography,光リソグラフィ/ Photolithgraphy,電子線リソグラフィ/ EB lithography,核磁気共鳴/ Nuclear magnetic resonance,量子効果/ Quantum effect,表面・界面・粒界制御/ Surface/interface/grain boundary control,量子効果デバイス/ Quantum effect device,メタマテリアル/ Metamaterial


利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)

福島 知宏

所属名 / Affiliation

北海道大学大学院理学研究院

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

松尾保孝,石旭,佐々木仁,小島俊哉,山﨑郁乃

利用形態 / Support Type

(主 / Main)機器利用/Equipment Utilization(副 / Sub)-


利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

HK-603:超高速スキャン電子線描画装置(130kV)
HK-609:ヘリコンスパッタリング装置
HK-611:多元スパッタ装置
HK-604:レーザー描画装置
HK-618:プラズマ原子層堆積装置


報告書データ / Report

概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

金属をナノ構造化することにより、プラズモン特性が発現し、光学特性の制御が可能となる。本研究では、ナノ構造制御に基づく電気化学特性制御を目指して実験を行った。

実験 / Experimental

電子線リソグラフィおよびスパッタにより、ナノ構造を作成した。

結果と考察 / Results and Discussion

電子線リソグラフィを利用することによりディスク直径500 nmから 1000 nm程度の領域にてディスク間距離を制御した構造体が作成された。走査型電子線顕微鏡観察により、ナノ構造の作成が確認された。作成した電極を作用極、銀塩化銀電極を参照極、白金電極を対極として、水素発生反応の検証を行った。結果ナノ構造に依存した電気化学特性の優位な差が観測された。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations


Agナノ構造の例


その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)


成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
  1. Tomohiro Fukushima, Raman Spectroscopic Observation of Electrolyte-Dependent Oxygen Evolution Reaction Intermediates in Nickel-Based Electrodes, The Journal of Physical Chemistry C, 128, 20156-20164(2024).
    DOI: 10.1021/acs.jpcc.4c06732
  2. Daiki Sato, Evaluation of hydrogen evolution activity by bubbles growth rates as descriptor, Journal of Electroanalytical Chemistry, 973, 118667(2024).
    DOI: 10.1016/j.jelechem.2024.118667
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件

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