プラズマ原子層堆積装置
最終更新日：2022年6月10日
| 設備ID | HK-618 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 原子層堆積(ALD)装置 |
| 設備名称 | プラズマ原子層堆積装置 (Plasma Enhanced ALD system) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 創成科学研究棟クリーンルーム |
| メーカー名 | サムコ (samco) |
| 型番 | AD-230LP |
| キーワード | Al2O3、SiO2他 |
| 仕様・特徴 | 成膜材料：Al2O3他 試料サイズ：最大8インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=HK-618 |
