日時

2025年8月19日（火）～8月21日（木）

場所

かわさき新産業創造センター AIRBIC 1階 会議室（川崎市幸区新川崎7-7）

主催

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
MEMSパークコンソーシアム

共催

４大学ナノマイクロファブリケーションコンソーシアム
東北大学ナノテク融合技術支援センター
東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター

定員

なし

参加費

無料（交流会は有料）

参加申し込み

Webフォーム　https://forms.gle/yViJ1d5m1ikj3i5o7
申込締切：当日まで可（交流会参加ご予定のかたは、できればお早めにお申し込みください。なお後日の変更は可能です）

概要

東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは2003年よりMEMS集中講義を企画開催しており、講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に学習できます。
23回目となる今回は、東京大学三宅先生、川崎市のご協力により、8月19日～21日の3日間かわさき新産業創造センター AIRBICで開催します。
参加費は無料です。お手数ですが、事前のお申し込みをお願いいたします。
昨年と同様、現地開催とネット配信のハイブリッドで開催しますが、よろしければぜひ会場にお越しいただき、講師や参加者の皆様との情報交換、交流の場として活用ください。
8月20日の夕方に交流会も企画しています。ご参加は3日間すべてではなく、一部のみでも構いません。皆様とお会いできることを楽しみにしております。

詳細

【第23回MEMS集中講義 in 川崎 プログラム】

【講師】（五十音順）
　　　　小野崇人、金森義明、 鈴木裕輝夫、田中秀治、塚本貴城、戸津健太郎、芳賀洋一、日暮栄治、三宅亮

【8月19日(火)】
　9:00　受付開始
　9:30-12:00　  マイクロマシニング1（概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜）[戸津健太郎（東北大学）]
　13:00-16:00　マイクロマシニング2（接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境）[戸津健太郎（東北大学）]
　16:10-18:00　マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、集積化MEMS技術 [鈴木裕輝夫(東北大)]

【8月20日(水)】
　8:30　受付開始
　9:00-10:20　  研究紹介、NANOBICや川崎市の活動紹介（仮）[三宅亮（東京大）、川崎市担当者]
　10:30-12:30　加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ [塚本貴城（東北大）]
　13:30-15:00　IT・通信・自動車応用（圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス）[田中秀治（東北大）]
　15:10-17:00　MEMSの新しい話題 [田中秀治（東北大）]
　17:30-19:00　交流会（AIRBIC 1階レストランを予定）

 【8月21日(木)】
　 8:30　受付開始
　 9:00-12:30　  製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス [小野崇人（東北大）]
　 13:30-15:00　異種材料集積技術の進展とセンサ・MEMS応用 [日暮栄治（東北大）]
　 15:10-16:40　医療・ヘルスケア（健康管理）応用 [芳賀洋一（東北大）]
　 16:50-17:40　メタレンズ・6G用メタマテリアル [金森義明（東北大）]

【講義資料】
　冊子は配布いたしません。
　講義資料は準備が整い次第、ダウンロードできるようにいたします。

• 開催案内 [PDF形式／251.46KB] 

お問い合わせ

MEMSパークコンソーシアム事務局
〒980-0845　仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
（代表電話）022-229-4113　
齋藤 哲郎      E-mail: t-saitoh(at)tohoku.ac.jp
小林みゆき　E-mail: miyuki.kobayashi.c2(at)tohoku.ac.jp
※(at)を@に置き換えて下さい。

ホームページ
[URL] https://www.mems-pc.jp/openseminar/opense95.html
最新情報は、イベントWebサイトでご確認ください。