設置機関：東北大学 TU-522 高分解能走査透過電子顕微鏡 設置機関：豊田工業大学 TT-035 スパッタ・電子ビーム蒸着複合装置 TT-036 触針式プロファイラ（段差計）（Alpha-Step D-500） TT-037 3次元光学プロファイラー（NewView9000）