設置機関：豊橋技術科学大学（実施体制整い次第提供予定）
- TH-101 ウェット処理・洗浄装置
- TH-201 金属成膜装置
- TH-202 絶縁膜成膜装置
- TH-221 LPCVD装置
- TH-222 プラズマCVD装置
- TH-301 ドライ加工プロセス装置
- TH-401 酸化・熱処理装置
- TH-411 不純物ドーピング装置
- TH-501 i線露光装置
- TH-502 コンタクト露光装置
- TH-503 マスクレス露光装置
- TH-521 レジスト塗布・現像装置
- TH-601 ダイシング装置
- TH-611 組立・ボンディング
- TH-701 電子顕微鏡
- TH-721 光学観察装置
- TH-801 膜厚評価システム
- TH-821 電気特性評価