設置機関:物質・材料研究機構(NIMS) NM-233 レーザ元素分析デジタルマイクロスコープ NM-234 フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザー 設置機関:産業技術総合研究所(AIST) AT-121 電界放出形走査電子顕微鏡(JSM7400F) 設置機関:京都大学 KT-335 触針式形状測定装置 設置機関:香川大学 GA-017 成形装置群