【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.15】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24TU0169

利用課題名 / Title

T-Seeds企画の学生向け半導体実習プログラム

利用した実施機関 / Support Institute

東北大学 / Tohoku Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

シリコン基材料・デバイス,圧電・焦電材料,光リソグラフィ/ Photolithgraphy,膜加工・エッチング/ Film processing/etching

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

宍戸 みづき

所属名 / Affiliation

東北半導体・エレクトロニクスデザインコンソーシアム

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

TU-001：エッチングチャンバー
TU-002：有機ドラフトチャンバー
TU-004：スピン乾燥機
TU-051：ミカサ スピンコータ
TU-052：アクテス スピンコータ#1

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

実施内容：東北大学の施設を活用し、半導体の製造プロセスを学ぶことができる実習を開催。
目的：人材確保・育成（学生の半導体産業の理解促進を図り、半導体産業を志す絶対数の増加を目指す。）

実験 / Experimental

TU-054　ホットプレート
TU-056　両面アライナ#1
TU-060　現像ドラフト
TU-201 DeepRIE装置#1
TU-211　プラズマクリーナー
TU-257　ワイヤボンダ
TU-266　セミオートワイヤボンダ
TU-308　デジタル顕微鏡
TU-310　レーザ／白色共焦点顕微鏡
TU-314　熱電子SEM

結果と考察 / Results and Discussion

【参加学生のアンケート内容を一部抜粋】
・2日間でピエゾ抵抗型MEMSフォースセンサ IoTモジュール試作実習を行い、フォトリソ、エッチング、ワイヤボンディングなどの加工プロセスを体験できた。
・実際の薬品や装置を使用したことで、加工プロセスへの理解が深まり、半導体製造の楽しさと難しさを実感した。
・大規模なクリーンルーム・実験環境にて実習できたことは今後の研究活動、就職を考えるうえで大変価値のあるものだった。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件