【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.15】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24TU0215
利用課題名 / Title
マルチスペクトルイメージング用光学素子の開発
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学 / Tohoku Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
光デバイス/ Optical Device,フォトニクスデバイス/ Nanophotonics device,スパッタリング/ Sputtering,光リソグラフィ/ Photolithgraphy,膜加工・エッチング/ Film processing/etching
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
柳村 光紀
所属名 / Affiliation
株式会社フォトニックラティス
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
森山 雅昭,庄子 征希,邉見 政浩,菊田 利行
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術相談/Technical Consultation
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
TU-001：エッチングチャンバー
TU-058：マスクレスアライナ
TU-159：芝浦スパッタ装置（冷却型）
TU-211：プラズマクリーナー
TU-215：イオンミリング装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
スペクトルイメージング用素子の開発のため、光学多層膜のパターニングプロセスの開発を行う。
実験 / Experimental
レーザー描画装置を用いてパターニングを行った。
次に、そのレジストパターンを用いてCrのエッチング(Wet/Dry)を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig. 1に、リソグラフィ工程後の顕微鏡写真を示す。
最適な素子の条件を探索するため、様々なサイズ・条件で素子の作成を行っており、想定通りの構造ができていると考えられる。
レジストのパターニングプロセス、エッチングプロセスも問題なく進んでおり、今後も試作を進めていく予定である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 フォトリソグラフィ後
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件