【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.21】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24HK0018

利用課題名 / Title

赤外線励起による溶剤の分子内振動の緩和と溶剤乾燥に効果的な赤外線吸収波長帯の解明

利用した実施機関 / Support Institute

北海道大学 / Hokkaido Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

ALD,リソグラフィ/ Lithography,フォトニクスデバイス/ Nanophotonics device,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,スパッタリング/ Sputtering

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

戸谷 剛

所属名 / Affiliation

北海道大学　大学院工学研究院

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

小田島　聡

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術相談/Technical Consultation（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

HK-609：ヘリコンスパッタリング装置
HK-610：コンパクトスパッタ装置
HK-611：多元スパッタ装置
HK-617：原子層堆積装置（粉末対応型）

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

金属-絶縁体-金属(MIM)構造の作製方法について技術相談を行った。

実験 / Experimental

結果と考察 / Results and Discussion

金属-絶縁体-金属(MIM)構造の作製方法として、絶縁体層の成膜については膜厚を精密に制御できる原子層堆積装置(HK-617)を、金属層の成膜については同時成膜ができるコンパクトスパッタ(HK-610)および多元スパッタ(HK-611)と、平行性が高くリフトオフに向いているヘリコンスパッタ(HK-609)を組み合わせて実施する提案を受けた。構造作成に当たりEB描画(北大外)によるリソグラフィを用いるが、精度良く構造作成を行うため，近接効果による影響を計算し露光補正を行うソフトウェアBEAMERを使用することになった。実際の装置利用は3月のBEAMERセミナーの終了後、次年度中を予定している。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件