【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.21】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24AT0053
利用課題名 / Title
磁性酸化物薄膜のイオンミリング加工
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所 / AIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
エレクトロデバイス/ Electronic device,膜加工・エッチング/ Film processing/etching
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
染谷 浩子
所属名 / Affiliation
産業技術総合研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
杉山 和義
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
磁性ガーネット薄膜材料においてハイスループット実験を実行し、薄膜組成の最適化実験、及び素子構造、加工プロセスの最適化実験を行っている。本課題では、コンビナトリアルスパッタ装置を用いて成膜した3元系薄膜を、成膜後に加熱処理し結晶化させたサンプルに対して、アルゴン（Ar）イオンミリング装置を用いてエッチング加工を行い、デバイス作製を行った。
実験 / Experimental
1インチΦの結晶性のガドリニウムガリウムガーネット（SGGG、NGG、GSGG）を基板として、コンビナトリアルスパッタ装置を用いて成膜した。この3元系薄膜に対し、コンタクト露光で作製したドット形状のレジストパターンを形成し、これをマスクにしてArイオンミリングを行う手順で、3元系薄膜のドットパターンを作製した。
結果と考察 / Results and Discussion
本年度も引き続き、材料探索の為、様々な材料で成膜を行い、デバイスを作製したため、ミリングの条件探索を試みた。レシピ#0 NPF500V BiIG/(Bi Y)IG 2層膜:126Å/min(SGGG基板) (Bi Y)IG/(Bi Y)IG 2層膜:132Å/min(SGGG基板)(Bi Y Lu)IG膜:130Å/min(GSGG基板) (Bi Y Lu)IG膜:143Å/min(NGG基板) 組成比を変えてもレートにはあまり変化が無いが、中間層にYIG膜を挟むとレートが遅くなる傾向がある。 また、オーバーエッチングの為、基板が異なるとレートが変わる。特にNGGのレートは早い傾向がある。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件