アルゴンミリング装置
最終更新日：2022年5月30日
| 設備ID | AT-033 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > イオンミリング（断面加工） |
| 設備名称 | アルゴンミリング装置 (Argon Ion Milling System) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | 伯東 (Hakuto) |
| 型番 | 3-IBE |
| キーワード | Arイオンミリング Arイオンエッチング |
| 仕様・特徴 | 形式：3-IBE カウフマン型DCイオン源 試料サイズ：最大4インチ ミリングガス：Ar ビーム加速電圧：100～1200V イオン入射角：-90°～90°（0°が試料表面に垂直入射） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=AT-033 |
