【公開日：2025.07.28】【最終更新日：2025.07.28】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

22TU0010

利用課題名 / Title

マルチスペクトルイメージング用光学素子の開発/Fabrication of substrates for photonic crystals

利用した実施機関 / Support Institute

東北大学 / Tohoku Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

リソグラフィ/Lithography,膜加工・エッチング/Film processing and Etching,EB,ナノフォトニクスデバイス/ Nanophotonics device

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

川嶋 貴之

所属名 / Affiliation

株式会社フォトニックラティス

共同利用者氏名 / Names of Collaborators Excluding Supporters in the Hub and Spoke Institutes

冨松　透

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Supporters in the Hub and Spoke Institutes

森山　雅昭

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

TU-001：エッチングチャンバー
TU-051：ミカサ スピンコータ
TU-054：ホットプレート
TU-057：レーザ描画装置
TU-060：現像ドラフト

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

　スペクトルイメージング用素子の開発のため、光学多層膜のパターニングプロセスの開発を行う。

実験 / Experimental

　EB露光装置及びレーザ描画装置を用いてパターニングの基礎実験を行った。今年度は装置の操作方法の習得を行い、目的とする多層膜へのパターン作製およびエッチングを行った。

結果と考察 / Results and Discussion

　Fig. 1 にエッチング後の多層膜の顕微鏡写真を示す。明るい部分は多層膜下部のエッチストップ層のCr膜が見えている。今回は周期20 µmの市松模様を作成した。この寸法はイメージセンサのサイズに合わせてあり、想定通りの構造ができていると考えられる。最終的には、この構造の上にさらに多層膜積層、パターニングが必要であり、次年度以降において実験を進めていく予定である。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

Fig. 1 Microscopic image of patterned multilayer.

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件