【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.10】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24SH0017
利用課題名 / Title
計測機器の性能向上
利用した実施機関 / Support Institute
信州大学 / Shinshu Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
集束イオンビーム/ Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
松村 伸弥
所属名 / Affiliation
長野計器株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
計測機器の性能向上を目的として、新規厚膜材料への変更を検討している。
新規材料品の剥離強度を評価したところ、既存材料品と比較して、強度の低下が確認された。原因の切り分けを目的として、出来栄え確認を実施する。
実験 / Experimental
厚膜の材料・形成条件を変更したサンプルについて、複合ビーム加工観察装置(FIB)：JIB-4610Fにて、厚膜断面の加工及び観察・膜厚測定を実施した。
結果と考察 / Results and Discussion
図1および図2に新旧厚膜材料を表面に堆積した試料の断面SEM観察像をそれぞれ示す。図１の新規厚膜材料を使用した場合でも、図２の旧材料を使用した試料と同様に膜厚が10μｍ程度であることがわかった。膜厚の差がないことから新規材料は十分に堆積されており、剥離強度の低下は材料そのものが原因であると推測することができた。この結果より厚膜形成条件を見直し、新規材料を更に厚膜化することで材料強度を向上させ、剥離強度を改善することができた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
新規材料品断面画像
既存材料品断面画像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
マテリアル先端リサーチインフラ事業(ARIM)の機器利用にあたり、ご指導頂きました小畑美智子研究員、堀田将臣研究員に感謝申し上げます。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件