複合ビーム加工観察装置
最終更新日：2024年4月8日
| 設備ID | SH-007 |
|---|---|
| 分類 |
走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） |
| 設備名称 | 複合ビーム加工観察装置 (Dual beam analysis system ) |
| 設置機関 | 信州大学 |
| 設置場所 | 信州大学 長野（工学）キャンパス 国際科学イノベーションセンター |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JIB-4610F |
| キーワード | ３D微細形状の分析 TEM試料作製 |
| 仕様・特徴 | FE-SEM 加速電圧 0.1～30ｋV FIB 分解能4nm 加速電圧 1～30kV Cryoオプション付き ピックアップシステム付き |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=SH-007 |
