【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.10】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24SH0010
利用課題名 / Title
金属基板上の異物調査
利用した実施機関 / Support Institute
信州大学 / Shinshu Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/ Electronic microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
石川 麻理奈
所属名 / Affiliation
ニデックコンポーネンツ株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
金属基板上に発生する異物の種類を特定する。
実験 / Experimental
複合ビーム加工観察装置を使用して、金属基板上に発生・付着している異物の断面を観察した。
結果と考察 / Results and Discussion
複合ビーム加工観察装置を使用し、切削断面を繰り返し顕微鏡観察することで、異物を含む金属基板数枚の断面から観察・成分分析を行うことができた。断面から観察することにより、異物が発生または付着している位置を同定することができた。また、表面からの分布を解析することによりそれらの混入経路を推定することができた。一方、異物とされるものの成分分析を行い、異物を構成する化合物について特定することを進めることができた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本測定に関して、信州大学の堀田様には測定からデータ分析についてご支援いただきまして非常にスムーズに実験を行うことができました。誠にありがとうございました。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件