設置機関：豊橋技術科学大学（実施体制整い次第提供予定）

• TH-101　ウェット処理・洗浄装置
• TH-201　金属成膜装置
• TH-202　絶縁膜成膜装置
• TH-221　LPCVD装置
• TH-222　プラズマCVD装置
• TH-301　ドライ加工プロセス装置
• TH-401　酸化・熱処理装置
• TH-411　不純物ドーピング装置
• TH-501　i線露光装置
• TH-502　コンタクト露光装置
• TH-503　マスクレス露光装置
• TH-521　レジスト塗布・現像装置
• TH-601　ダイシング装置
• TH-611　組立・ボンディング
• TH-701　電子顕微鏡
• TH-721　光学観察装置
• TH-801　膜厚評価システム
• TH-821　電気特性評価