設置機関：北海道大学
設置機関：物質・材料研究機構（NIMS）
設置機関：産業技術総合研究所（AIST）
- AT-115 大面積電子ビーム描画装置[BODEN50]
- AT-116 EB用自動現像装置（カナメックス）
- AT-117 多機能型薄膜Ｘ線回折装置(XRD)
- AT-118 多機能型光電子分光分析装置(XPS)
設置機関：東京大学
- UT-205 薄膜構造解析用Ｘ線回折装置（SmartLab-XE(9kW)）
- UT-513 スプレーコーター
- UT-514 フィルムラミネーター
- UT-515 自動フォトマスク現像装置
- UT-611 イオンシャワー装置
- UT-717 原子層堆積(ALD)製膜装置
- UT-718 プラズマCVD装置
- UT-806 拡散炉
- UT-807 酸化炉
- UT-808 アニール炉
- UT-809 一般用ドラフトチャンバー
- UT-810 恒温チャンバー
- UT-811 超音波ホモジナイザー
- UT-864 オージェ分光分析装置
- UT-865 接触角計
- UT-918 CMP装置
- UT-919 研磨パーティクル洗浄装置
- UT-954 HF, VHF, UHF測定装置群（カテゴリ600）
- UT-955 バッテリーエミュレータ
- UT-956 パワーアナライザ
- UT-957 ソースメーター
- UT-958 直流電源
- UT-959 マルチファンクションI/Oデバイス
- UT-960 ポテンショ・ガルバノスタット
設置機関：電気通信大学
設置機関：名古屋大学
設置機関：名古屋工業大学
設置機関：信州大学
設置機関：大阪大学
設置機関：奈良先端科学技術大学院大学（NAIST）
設置機関：量子科学技術研究開発機構（QST）
設置機関：九州大学