【公開日：2026.04.02】【最終更新日：2026.04.02】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23WS0211
利用課題名 / Title
メソポーラス薄膜に関する研究
利用した実施機関 / Support Institute
早稲田大学 / Waseda Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
ARIM半導体基盤PF関連課題 / Related to ARIM-SETI
指定なし/No Designation
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
メソポーラス薄膜/ Mesoporous Thin Films, センサ/ Sensors, 電解析出/ Electrolytic Deposition,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,ナノ多孔体/ Nanoporuous material,メソポーラス材料/ Mesoporous material,電子顕微鏡/ Electron microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
朝日 透
所属名 / Affiliation
早稲田大学 先進理工学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators Excluding Supporters in the Hub and Spoke Institutes
中川 鉄馬,飯田 万由花,吉良 美月,志賀 勇太,時田 桂吾,松本 綾香,Gong Qihang,池ノ谷 祥平,Wang Junhe
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Supporters in the Hub and Spoke Institutes
坂口 千佳,野﨑 義人,星野 勝美
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
WS-011：電界放出型 走査電子顕微鏡
WS-012：電界放出型 走査電子顕微鏡
WS-002：電子ビーム蒸着装置
WS-003：電子ビーム蒸着装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
メソポーラス薄膜の合成ならびにその物性評価に関する実験を⾏い、新規センサ材料や光学材料を開発する。基板上への⾦属 （Au/Ti、Al）の蒸着を電⼦ビーム蒸着装置（WS-002とWS-003）により⾏い、その⾦属薄膜上に電解析出によりAuのメソポーラス構造を形成した。形成したメソポーラス構造の表⾯構造ををSEM（WS-011とWS-012）で観察した。
実験 / Experimental
プラズマ処理装置により基板のクリーニングを⾏った。電⼦ビーム蒸着装置（WS-002とWS-003）により⾦属（Au/Ti、Al）を蒸着した基板上に、電解析出によりAuのメソポーラス薄膜を作製した。作製したデバイスの表⾯構造、化学構造、膜厚 を、SEM/EDX（WS-011とWS-012）などにより評価した。
結果と考察 / Results and Discussion
2023年度は、Si基板などの基板上にポリスチレンとポリエチレンオキシドのブロックコポリマー（PS-b-PEO）の球状ミセルを含む電解質のイオン（AuCl4-）溶液から、電解析出による電解質イオンの還元反応により、Auのメソポーラス膜を合成した。また、その表⾯構造、化学構造、膜厚を、SEM/EDX（WS-011とWS-012）により観察し、様々な⼤きさの細孔を持つメソポーラス膜の合成に成功したことを確認した。SEMで観察したAuのメソポーラス膜を図1に示す。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1 メソポーラスAu膜のSEM像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- K. Nakagawa, “Nanoinstrumentation Tecton”, 4th International Conference on Materials Science and Engineering (Materials Oceania 2023), September 26th 2023 (Nagoya, Japan.)
- S. Yuta, K. Nakagawa, O. Guselnikova, T. Nakanishi, Y. Yamauchi and T. Asahi, “Development of chiral sensor using mesoporous gold substrate”, 19th International Conference on Chiroptical Spectroscopy (CD2023), September 20th 2023 (Hiroshima, Japan.)
- S. Yuta, K. Nakagawa, O. Guselnikova, T. Nakanishi, Y. Yamauchi and T. Asahi, “Development of Chiral Sensor Using Mesoporous Gold Films with Chiroptical Properties”, 4th International Conference on Materials Science and Engineering (Materials Oceania 2023), September 28th 2023 (Nagoya, Japan.)
- M. Iida, T. Nakanishi, K. Nakagawa, K. Sakiyama, K. Kataoka, T. Asahi, “Mesoporous Gold Electrodes Modified with Peptide Nucleic Acid for Detecting MicroRNA”, 4th International Conference on Materials Science and Engineering (Materials Oceania 2023), September 28th 2023 (Nagoya, Japan.)
- S. Yuta, K. Nakagawa, O. Guselnikova, T. Nakanishi, Y. Yamauchi and T. Asahi, “Chiral sensing by the mesoporous Au substrate”, Advanced Materials Research GRAND MEETING (MRM2023), December 13th 2023 (Kyoto, Japan.)
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件