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“TU-206“ で検索した結果 22件
表示件数
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22件中 21～30件
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22TU0021
SMS vacuum wafer-level package for resonator MEMS
2023.7.28
東北大学
PDF（446.61KB）
HTML
22TU0020
ポリマー圧電MEMSデバイスの応用研究 / Polymer piezo-MEMS actuator development
2023.7.28
東北大学
PDF（1.35MB）
HTML
22件中 21～30件
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