【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.28】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24TU0168
利用課題名 / Title
高精細発光素子のパターニング技術開発
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学 / Tohoku Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions
キーワード / Keywords
光デバイス/ Optical Device,フォトニクスデバイス/ Nanophotonics device,フォトニクス/ Photonics,スパッタリング/ Sputtering,光リソグラフィ/ Photolithgraphy,膜加工・エッチング/ Film processing/etching
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
辻埜 和也
所属名 / Affiliation
シャープ株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
折田城彦,井上毅,野見山翔太,松崎宗一郎
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
戸津健太郎,森山雅昭,松本行示,鶴谷敏則,古林庸子,渡邉拓
利用形態 / Support Type
（主 / Main）共同研究/Joint Research（副 / Sub）,機器利用/Equipment Utilization
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
TU-063：i線ステッパ
TU-058：マスクレスアライナ
TU-161：自動搬送 芝浦スパッタ装置（冷却型）
TU-317：測長SEM
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
新規超高精細自発光ディスプレイ開発のため、東北大学マイクロシステム融合研究開発センターのi線ステッパを利用して3000 ppi以上の高精細のパターニングを行い、発光素子を試作した。
実験 / Experimental
配線材料の成膜には、スパッタ装置(TU-161)を用いた。基板上の各層のパターニングに、マスクレスアライナ（TU-058）を用いた。高精細のパターニングには、i線ステッパ(TU-063)を用いた。i線ステッパによるパターニングの仕上りの評価には、測長SEM(TU-317)を用いた。
結果と考察 / Results and Discussion
i線ステッパを用いて作製したレジストパターンの一例の測長SEM画像を図１に示す。開口パターン間のギャップ590.45 nmが測長できており（設計値570 nm)、3000 ppi以上のパターニングに必要な微細なパターンが精度よく形成できることが分かった。これらの評価結果をもとに、発光素子を試作し、Red、Green、Blue各画素のEL発光を確認した。特性改善に向けて、引き続き、東北大学マイクロシステム融合研究開発センター内設備を利用して新規超高精細自発光素子試作に取り組む予定である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
発光素子試作に関して、ご協力くださった東北大学の教員、スタッフの皆様に感謝申し上げます。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- Kazuya Tsujino, Tsuyoshi Inoue, Kunihiko Orita, Shota Nomiyama, Mayuko Sakamoto, Souichiro Matsuzaki, Tokiyoshi Umeda, Takeshi Ishida, Ruiqing Ma, Jacob Choi and Jim Zhuang, “Ultra-High-Resolution Active-Matrix NanoLED Microdisplay by UV Photolithography”, Society for Information Display International Symposium Digest of Technical Papers, pp.133-136, San Jose Convention Center, San Jose, California, US, 13th, May, 2025.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件