【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.09】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24TU0217
利用課題名 / Title
メタマテリアルのガス分析応用
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学 / Tohoku Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
センサ/ Sensor,メタマテリアル/ Metamaterial,光リソグラフィ/ Photolithgraphy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
猪股 直生
所属名 / Affiliation
東北大学大学院工学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
TU-058：マスクレスアライナ
TU-057：レーザ描画装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本研究では，THzメタマテリアルを用いて高感度かつ高選択的に生体ガスを検出・分析できるデバイスの開発を行う．生体高分子が有する物質固有のTHz分光スペクトルとメタマテリアルの融合により，従来技術の課題を解決する革新的な計測技術を創出し，日常生活を阻害しない健康モニタリングの実現による健康・安心・安全な社会に貢献する．
実験 / Experimental
反応性イオンエッチングによるメタマテリアルのパターニングに必要なフォトレジストマスクの形成
結果と考察 / Results and Discussion
シリコン基板上に2000 rpmで塗布したポジ型フォトレジストOFPR800LB-34cpに対して，2種の露光装置を試した．レーザ描画装置(TU-057)において，focus：-35～-15(5刻み)，intensity：20～40(5刻み)の条件を試し，focus：-20，intensity：40が最適値であった．マスクレス露光装置(TU-058)において，dose：80～150(10刻み)の条件を試し，dose：100が最適値であった．これらの露光条件を用いたレジストパターンをマスクとして，反応性イオンエッチングによるアスペクト比50のシリコンピラー構造の作製を試みたが，ピラーにテーパが生じ，アスペクト比20程度のピラー構造になった．これはレジストマスク自体のテーバの影響だと考えられる．今回は露光強度のみを条件出しパラメータとしたが，焦点位置など他のパラメータも条件出しに加える必要がある．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件