【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.03.11】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24AT0268
利用課題名 / Title
2段階フォトリソグラフィーによるマイクロ流体デバイスの作成
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所 / AIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
成形/ Molding,細胞培養デバイス/ Cell Culture Device,光リソグラフィ/ Photolithgraphy,流路デバイス/ Fluidec Device
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
大橋 千草
所属名 / Affiliation
筑波大学生命環境系
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
杉山 和義
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
サイズの小さい細菌の観察を行うために、２段階のフォトリソグラフィ技術により、微生物細胞培養マイクロ流体デバイス用の型の制作を行う。
実験 / Experimental
マイクロ流体デバイスの作製には、産総研ナノプロセシング施設のコンタクトマスクアライナー（AT-009）を用いることとした。このコンタクトマスクアライナーを用いて、シリコンウエハ上にネガティブフォトレジストのパターンを二段階で形成する。これにより、一つのデバイス内に厚みの異なる流路を形成することができると考えている。
結果と考察 / Results and Discussion
今年度は、フォトリソグラフィーに必要なプラズマアッシャー、スピンコーター、コンタクトマスクアライナー、有機ドラフトチャンバー、オーブンなどの習得を行った。その後、練習用のフォトマスクを用いて自身で二段階フォトリソグラフィのテストを行った。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件