【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.02】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24KT2331

利用課題名 / Title

小型原子クロックの開発

利用した実施機関 / Support Institute

京都大学 / Kyoto Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

原子クロック,ガスセル,異種材料接着・接合技術/ Dissimilar material adhesion/bonding technology,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,光リソグラフィ/ Photolithgraphy,膜加工・エッチング/ Film processing/etching

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

新海 正博

所属名 / Affiliation

TDK株式会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

小池隼人

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

KT-217：基板接合装置
KT-203：電子線蒸着装置
KT-121：マスクレス露光装置
KT-234：深堀りドライエッチング装置（１）
KT-238：原子層堆積装置

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

小型原子クロックの研究を目的として、キーパーツのガスセルの小型化を目的としている。今期は、ガスセル内の雰囲気を窒素からアルゴンガスの混合雰囲気とすることを目的とした。

実験 / Experimental

Si基板に対して、フォトリソグラフィにより、ガスセル用のチャンバーの製作を行い、基板接合装置（KT-217）を利用した陽極接合での封止の時に、アルゴンガスの混入を行った。

結果と考察 / Results and Discussion

アルゴンガス中で、陽極接合を行うと、放電が発生し、接合が出来ないことがわかった。放電が発生しない条件、治具の検討を行った。装置メーカの協力を得て、条件設定が出来たが、実際のガスセル作製はまだ行っていない。本課題で得た接合条件にて、次課題ではガスセル作製を行う予定である。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件