【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.07】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NU0229
利用課題名 / Title
Ti-骨含有元素合金薄膜の作製と評価
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学 / Nagoya Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
膜厚・粒度測定/ Film thickness and particle size measurement,段差計/ Step meter,バイオアダプティブ材料/ Bioadaptive materials,スパッタリング/ Sputtering
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
稗田 純子
所属名 / Affiliation
名古屋大学大学院工学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
山口万穂,中村航大
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
鄭 惠貞
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
現在、医療用金属材料には，TiおよびTi合金が使用されている．骨とTi合金の早期接着によって患者への負担軽減を実現するために，従来のTi合金よりも骨形成能に優れたTi合金の開発が期待されている．本研究ではTiと骨含有元素との合金膜を作製し，組成や結晶構造の調査・検討を行った．作製したTi合金膜の構造を明らかにするために膜厚測定を行った．
実験 / Experimental
高周波マグネトロンスパッタ法を用いて，Si (100) 基板上にTi合金膜を作製した．ターゲットの構成を変更することで，合金膜に含まれる元素の種類および組成の制御を試みた．成膜条件はAr流量を35 mL/min，圧力を0.5 Pa，高周波出力を100 Wとし，成膜時間は15, 30 minとした．当該施設の段差計(小坂研究所・ET200A)を用いて，作製した試料の膜厚を測定した．
結果と考察 / Results and Discussion
ターゲットの構成を変えることで，異なるCa濃度のTi-Ca膜を作製することができた．図1に作製したTiおよびTi-Ca膜の膜厚を示す．Ti，Ti-1.2mass%Ca，Ti-13mass%Ca，Ti-20mass%Caの膜厚はそれぞれ196 nm，207.9 nm，275nmであった．膜中のCa濃度の増加とともに，膜厚が増加した．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1作製したTiおよびTi-Ca膜の膜厚
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
貴施設の測定装置を使用させていただき，心より感謝申し上げます。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件