【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.18】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24HK0156

利用課題名 / Title

OリングH₂プラズマ耐久試験

利用した実施機関 / Support Institute

北海道大学 / Hokkaido Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

表面・界面・粒界制御/ Surface/interface/grain boundary control,CVD

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

先曽 洋一

所属名 / Affiliation

株式会社バルカー高機能シール本部高機能シール開発部

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

大西 広,松尾 保孝

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術代行/Technology Substitution

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

HK-614：液体ソースプラズマCVD装置

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

H₂プラズマ環境下でのフッ素ゴムOリングの重量減少、表面状態を確認する。

実験 / Experimental

液体ソースプラズマCVD装置（サムコPD-10C1 : HK-614）を使用し、試料ステージ温度120 ℃、H₂ガス流量 295 sccm、圧力4 TorrにおいてRF出力 300 Wで30分間水素プラズマ処理を行い、処理前後の表面状態を比較した。

結果と考察 / Results and Discussion

粉状のカーボン成分が析出された。
H₂プラズマにより表面がエッチングされ、フッ素が削られて表面にカーボン成分のみが残ったと考えられる。
H₂に対するカーボン含有フッ素ゴムは耐性が低いことが確認できた。以上より，本課題の目的は達成できた。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件