【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.03.18】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24WS0531
利用課題名 / Title
Si基板上有機無機薄膜の膜分析
利用した実施機関 / Support Institute
早稲田大学 / Waseda Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials
キーワード / Keywords
有機無機ハイブリッド薄膜, 元素分析, グローディスチャージ発光分析(GDOS),高品質プロセス材料/技術/ High quality process materials/technique,エレクトロデバイス/ Electronic device,ナノシート/ Nanosheet,赤外・可視・紫外分光/ Infrared/visible/ultraviolet spectroscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
山賀 英臣
所属名 / Affiliation
日本サムスン株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
鎌倉 吉伸
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
野﨑 義人,伊藤 寿之,齋藤 美紀子
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）,機器利用/Equipment Utilization
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
有機無機ハイブリッド薄膜には特異な配向性や電気的特性を有するものが存在し、デバイスの高度集積化、高性能化に寄与することが期待されている。今回はグロー放電分光分析(GD-OES)により、基板上に作製した有機無機薄膜について分析が行えるか適用可否を判断することを目的とした。そのために実際に代表的なサンプルについてその組成と深さ方向の金属分布を調査した。
実験 / Experimental
４インチシリコンウエハー上に有機膜(以下A膜)、金属膜(以下B膜)の二層膜を製膜してサンプルを作製した。この薄膜サンプルについてGD-OES測定（WS-032）を実施した。サンプルの構成をFigure 1.に示す。
結果と考察 / Results and Discussion
GD-OESの結果では有機無機薄膜について、A膜の有機成分(C,H)とB膜の金属成分が観測され、意図したような組成を有する有機無機薄膜が製膜されていることが判明した。（Figure 2.）特に検出のピークトップに着目すると、A膜の成分よりもB膜の成分のピークトップが早く観測されたことから、有機無機薄膜はA膜上にB膜が担持されるFigure 1.で示したような所望の構造を持つことが示唆された。以上のことからGD-OESは本研究で扱う有機無機薄膜の分析に適しており、有益な情報を得られると判断した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Figure 1.サンプル模式図
Figure 2. 基板上有機無機薄膜のGD-OES結果
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
実験に関して様々に助言をいただいた野﨑様、伊藤様、齋藤様に感謝申し上げます。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件