【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.03.27】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24BA0029
利用課題名 / Title
イオンミリングを利用したSEM観察用各種材料の表面研磨、断面研磨
利用した実施機関 / Support Institute
筑波大学 / Tsukuba Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/ Electronic microscope,イオンミリング/ Ion milling,スパッタリング/ Sputtering,高品質プロセス材料/技術/ High quality process materials/technique,エレクトロデバイス/ Electronic device,先端半導体（超高集積回路）/ Advanced Semiconductor (Very Large Scale Integration),原子層薄膜/ Atomic layer thin film,ナノシート/ Nanosheet
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
関口 隆史
所属名 / Affiliation
筑波大学数理物質系
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
姚 遠昭,松石 晃弥
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
イオンミリング装置を用いて走査電子顕微鏡（SEM）観察試料を作製する。①標準試料のSUS球表面を研磨・清浄化する。②多元合金の断面試料を作製する。
実験 / Experimental
① SEMの検出器のアクセプタンス評価に用いる直径0.5 ㎜のSUS球を研磨、表面の清浄を行った。② 多元合金多結晶の組織をエネルギー分解反射電子検出器で観察するために、断面試料を作製した。
結果と考察 / Results and Discussion
① 様々な観察条件で、SUS球標準試料の二次電子、反射電子像を取得し、その解析から電子検出器の特性を評価した。② 多元合金（FeMnCrNiSi）の多結晶組織を観察し、エネルギーの違いによる反射電子像の解釈を行った。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig.1 SUS球のイオンミリング加工前後の二次電子像の比較
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
-
Takashi Sekiguchi, Acceptance characterization of electron detector in SEM using stainless steel sphere, Microscopy, 74, 79-85(2024).
DOI: https://doi.org/10.1093/jmicro/dfae050
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 関口隆史,"SEM検出器の特性と像情報"、日本顕微鏡学会, 令和6年6月4日
- 松石晃弥, 姚遠昭, 高森晋, 木村隆, 関口隆史,"多元合金多結晶の粒界の反射電子強度異常"、日本顕微鏡学会, 令和6年6月3日
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件