【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.18】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24KU0016
利用課題名 / Title
金属抵抗材料の温度変化に対する微細構造変化の観察
利用した実施機関 / Support Institute
九州大学 / Kyushu Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed
キーワード / Keywords
Ni-Cr合金,電気抵抗変化,SRO,Short-range ordering,電界エッチング,金属抵抗材料
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
山地 周作
所属名 / Affiliation
株式会社共和電業
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
清水 清昭
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
赤嶺 大志
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
KU-010：三次元原子分解能透過電子顕微鏡
KU-013：キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
当社が使用しているNi-Cr系金属抵抗材料において温度履歴に依存した電気抵抗変化が確認されている。この電気抵抗変化の原因はShort-range ordering（SRO）であると考えられているが，電気抵抗測定以外の手法で現象をとらえることが難しく，電気抵抗と微視的構造の関係性を確認できていない。そこで，温度履歴に依存した電気抵抗変化が確認された試料の微視的構造を透過型電子顕微鏡で観察することによって，その関係性を確認することを目的とする。
実験 / Experimental
観察試料としてNi-Cr系合金を圧延加工したものを用いた。温度履歴に依存した電気抵抗変化と微視的構造変化の関係性を確認するため，長時間熱処理によって意図的にSROを成長させた試料と，短時間の熱処理でSROの成長を抑制した試料の2種類を製作した。熱処理後，表面酸化膜除去のため試料表面の研磨を行った。研磨後の試料をφ3 mmに打ち抜いたのち，電解エッチングにより観察部を薄く加工した。電解エッチング後，電解エッチング時に生成した酸化膜除去を目的としてイオンビーム加工を行った。製作した観察試料に対して透過型電子顕微鏡観察を実施した。また，SROの成長を抑制した試料に対して透過型電子顕微鏡によるその場加熱観察を行うことで，加熱中の微視的構造変化の観察を試みた。
結果と考察 / Results and Discussion
SROの観察を阻害している可能性が示唆された電解エッチング時に生成した酸化膜を除去した観察試料に対して，透過型電子顕微鏡観察およびその場加熱観察を行った結果，SROを明確に確認することはできなかった。電気抵抗変化量に対して微視的構造変化が微小であり，電子顕微鏡観察によって電気抵抗と微視的構造の関係性を確認することは現状困難であると考えられる。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件