【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.03.17】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24OS1055

利用課題名 / Title

水素イオン感応性電極の形成

利用した実施機関 / Support Institute

大阪大学 / Osaka Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

センサ/ Sensor

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

日東 大輝

所属名 / Affiliation

大阪大学情報科学研究科情報システム工学専攻三浦研究室

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

OS-115：RFスパッタ成膜装置（絶縁体成膜用）

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

金属電極表面に水素イオン感応膜を形成した水素イオン感応性電極を作成した。

実験 / Experimental

RFスパッタ成膜装置を利用して、直径0.1-0.5mmの多様な金メッキ電極の先端に数10nmのTa₂O₅の薄膜を形成した。

結果と考察 / Results and Discussion

薄膜を形成した電極に対し金メッキ電極を参照電極として、3種類のpH標準液を用いてpHの変化に対する応答を確認した。とりわけ、直径0.15mmの金メッキ電極について、50mV/pHを超える感度で応答することが確認できた。その結果の一例が図1であり、電極をpH標準液に浸してからの電極電位の時間変化を示したグラフである。なお、pH標準液を切り替える際には電極の洗浄を行っており、その時間の電位については省略している。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図1 pH標準液を利用した測定の時間推移

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件