【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.23】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24UT0276

利用課題名 / Title

コンデンサの解析

利用した実施機関 / Support Institute

東京大学 / Tokyo Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion

キーワード / Keywords

セラミックコンデンサー,セラミックスデバイス/ Ceramic device,電子顕微鏡/ Electronic microscope,集束イオンビーム/ Focused ion beam

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

甘利 友花

所属名 / Affiliation

テクダイヤ株式会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

森田真理

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

UT-152：CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システム

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

弊社で開発中のコンデンサの不良解析を行った。

実験 / Experimental

サンプル構造：サファイア基盤に誘電体と金属膜を蒸着した形。まず弊社にて寿命試験を行い、想定寿命よりも短い時間で絶縁抵抗が低下してしまう不具合品サンプルを選出した。その後金メッキをしたコバルト板に設置し、炭素コーティングを行い、導通をとった。FIBーSEM(XVision200TB)にて断面観察を行った。

結果と考察 / Results and Discussion

良品と不具合品を1サンプルずつ、合計2サンプルを解析し、構造を比較した。断面観察の結果、不具合品サンプルにおいて、蒸着した膜の一部に空洞が見られた。この空洞が不具合の原因であるという仮説の元、今後はさらに解像度をあげた解析や別の蒸着方法などを検討していく。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図１　断面FIB写真

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件