【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.20】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24UT0202
利用課題名 / Title
ナノ分解能電子分光によるヘテロ界面フォノン輸送解析
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed
キーワード / Keywords
量子効果/ Quantum effect,量子効果デバイス/ Quantum effect device,表面・界面・粒界制御/ Surface/interface/grain boundary control,イオンミリング/ Ion milling
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
吉川 純
所属名 / Affiliation
物質・材料研究機構
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
福川昌宏
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本申請課題では、ナノ分解能電子分光を用いたフォノン輸送解析の確立を目指した研究を進めている。計測用に電子顕微鏡試料が必要であり、その試料作製の一部工程を実施することを利用目的としている。
実験 / Experimental
高圧合成した超硬度ヘテロ接合結晶の界面垂直な断面を広く露出させるため、クロスセクションポリッシャー（CP; IB-19520CCP）を用いて加速電圧6kVまたは5kVのArイオンビームで研磨を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
最初はサンプル（超硬度ヘテロ接合結晶）をシリコン基板に瞬間接着剤で固定したが、密着性が良くないためかCP加工のセッティング時に剥離した。そのためエポキシ樹脂板に固定しなおしてCP加工を進めた。加速電圧6kVで研磨を進めていたが、エポキシ樹脂の変質が見られたため、5kVにすることでその変質を低減することができた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
CP加工後の光学顕微鏡像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件