【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24UT0198
利用課題名 / Title
スピン流を用いた新機能デバイスの開発
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
X線回折/ X-ray diffraction,スピントロニクスデバイス/ Spintronics device
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
犬飼 晃司
所属名 / Affiliation
JSR株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
スピントロニクスデバイスへの応用が期待されるスピン流材料であるWについて、その結晶構造とスピン流変換効率の関係を明らかにすることを目的とした。
実験 / Experimental
スパッタ法を用いてW薄膜を作製し、その結晶構造をX線回折法（SmartLab9kW）により評価した。また、スピン流変換効率は、逆スピンホール効果を利用した電気的測定により評価した。
結果と考察 / Results and Discussion
X線回折の結果から、成膜条件によってW薄膜の結晶構造が変化することが確認された。例えば、基板温度を変化させることで、α相（体心立方格子）とβ相（A15構造）のW薄膜が得られた。スピン流変換効率の測定結果から、W薄膜の結晶構造によってスピン流変換効率が異なることが明らかになった。特に、β相のW薄膜はα相のW薄膜に比べて高いスピン流変換効率を示した。以上の結果から、W薄膜の結晶構造を制御することで、スピン流変換効率を向上させることができる可能性が示唆された。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件