【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24UT0165
利用課題名 / Title
有機膜上の電極パターニング技術の開発
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials
キーワード / Keywords
光学材料・素子/ Optical materials,電子顕微鏡/ Electronic microscope,集束イオンビーム/ Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
田崎 太一
所属名 / Affiliation
JSR株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
大友涼平
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
寺西亮佑
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
UT-006：ハイスループット電子顕微鏡
UT-156：集束イオンビーム加工観察装置（FIB）
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
フレキシブルディスプレイデバイス用途として有機フィルム上へのTiAlTi電極形成の大量生産技術の確立を目的とする。有機フィルム上にSPTによりTiAlTiを成膜。Dry-etchプロセスにより微細な電極パターンをフレキシブル有機フィルム上に作成。有機フィルム上のDry etchにおいて、TiAlTiの微小残渣が発生することが問題であり、微小残渣の発生メカニズムと改善を検討する。
実験 / Experimental
FIB-SEM(UT-156:JIB-PS500i)により試料を作製し、TEM-EDX(UT-006:JEM-2800)による分析を実施。
結果と考察 / Results and Discussion
有機フィルム上にTiAlTiを成膜したサンプルの断面TEM-EDX分析からTiAlTi界面の有機フィルム中のO元素が多いことを確認。他の元素分析結果と合わせて考察することで、O元素がH2Oに起因する可能性が極めて高く、有機フィルム中に残留する水分の影響でDry etching中のAlが酸化、Unetching成分のAlOxが形成することで微細残渣が発生するメカニズムが成り立つことを確認した。改良として有機フィルム中の残留水分量を低減することで大幅な改善を確認。量産技術確立に大きく前進した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1. 有機フィルム中の残留水分によるSTEM-EDX像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件