【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.13】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24UT0137
利用課題名 / Title
開発デバイスの加工品質向上
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
触針段差計,アクチュエーター/ Actuator,電子顕微鏡/ Electronic microscope,集束イオンビーム/ Focused ion beam,膜加工・エッチング/ Film processing/etching
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
大友 喬史
所属名 / Affiliation
京セラ
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
李健,及川貴弘
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
UT-152：CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システム
UT-605：塩素系ICPエッチング装置
UT-855：高精細電子顕微鏡
UT-850：形状・膜厚・電気特性評価装置群
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
アクチュエーターの試作に際し、加工品質の向上を目的とした実験を行った。
加工したサンプルの鳥瞰・断面観察を行った。
実験 / Experimental
PZTエッチング、レジストアッシングしたサンプルの観察評価を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
PZTエッチング時に生じたデポ物を確認した。
デポ物は連続しているもの、点在しているものがある。
どれもSEM像からPZTと同じ色調をしていることからPZTそのものと推測する。
また、エッチング時にレジストに付着したエッチング物がレジストが無くなったことでPZT膜上に落下したと推測する。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig.1 FIB断面図1
Fig.2 FIB断面図2
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
装置の操作方法をご教授頂きました森田様に感謝申し上げます。
ありがとうございました。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件