【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.13】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24UT0136
利用課題名 / Title
ガラス表面に形成した多孔質構造における元素分布分析
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed
キーワード / Keywords
セラミックスデバイス/ Ceramic device,センサ/ Sensor,ナノ多孔体/ Nanoporuous material,電子顕微鏡/ Electronic microscope,メソポーラス材料/ Mesoporous material,電子分光/ Electron spectroscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
藤間 卓也
所属名 / Affiliation
東京都市大学理工学部機械工学科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
UT-005：原子分解能元素マッピング構造解析装置
UT-308：多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)with AES
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ガラス材料表面にエッチング処理によって形成したナノ多孔構造について、その構成元素の分布を明らかにすることを通して、この多孔構造の形成原理を解明することを目的とする。この原理解明を通して、同多孔構造の形成段階における構造制御を可能とし、ひいてはその機能制御を実現することを目指す。
実験 / Experimental
透過型電子顕微鏡(JEM-ARM200F ThermalFE(STEM SDD))を用いた多孔構造の構造観察および元素分布の測定と、XPS(Versa ProbeⅢ)を用いた元素およびその化学結合状態の深さ依存性を測定した。試料は、構造形成の進行度を変えたものを用いた。
結果と考察 / Results and Discussion
STEM-EDSより、多孔構造形成の進行とともに変化する、元素分布の一端が明らかとなった。特に一部元素の特徴的な偏在が明らかとなり、構造形成の原理解明につながる可能性を示した。これらの結果とXPSによる構成元素分析の結果は整合性があり、化学結合状態分析については、STEM-EDSの結果と併せて構造形成の特に初期段階についてより詳しく分析することが有用であることが示唆された。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件