【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.13】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24UT0132
利用課題名 / Title
FIBを用いた電子顕微鏡観察のための磁性体試料作製
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials
キーワード / Keywords
磁性材料,電子顕微鏡/ Electronic microscope,集束イオンビーム/ Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
谷奥 泰明
所属名 / Affiliation
株式会社プロテリアル
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
許マイケル,岩田健史
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
柴田直哉
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
磁性材料は用途に応じて保磁力を制御することが求められている．ナノ結晶軟磁性材料に代表される軟磁性材料は保磁力をより低く，マグネトプランバイト型フェライト磁石に代表される硬質磁性材料は高保磁力化が求められている．保磁力の微視的な起源は微細組織が引き起こす磁気特性の不均一さによる磁壁移動の阻害と言われている．したがって磁性材料中の磁気構造を観察しながら磁場を印加し磁壁の移動を高分解能で直接観察する必要がある．本研究では磁場印加時の磁区構造変化の解析を最終的な目標とし，今回は共用装置(UT-156)を用いてマグネトプランバイト型フェライト磁石のSTEM観察用試料の作製を行った．
実験 / Experimental
集束イオン／電子ビーム 複合ビーム加工観察装置（JIB-PS500i）を用いて．マグネトプランバイト型フェライト磁石から薄片を切り出し，STEM観察用の試料の作製を行った．
結果と考察 / Results and Discussion
図一のようにおよそ5 µm四方の試料を作製し，微分位相コントラスト(DPC) STEM法により試料の磁区構造の観察を行った．DPC STEMによる磁区構造観察にはカーテニングなどのない厚さが均一な試料が理想的である。作製した試料をDPC STEM観察を行ったところ，厚さの不均一性に由来する信号はほとんど観察されず、試料局所領域における磁区構造の高分解能観察を行うことができた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
JIB-PS500iで作製した試料のSEM像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件