【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.05】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NM0204
利用課題名 / Title
ハイエントロピー型銅酸化物高温超伝導体薄膜の微細加工
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion
キーワード / Keywords
超伝導/ Superconductivity
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
山下 愛智
所属名 / Affiliation
東京都立大学 理学部物理学科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
長井拓郎,岡田徳行
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ハイエントロピー型銅酸化物高温超伝導薄膜のTEM観察を実施するために、FIBを用いた微細加工を実施した。
実験 / Experimental
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置（NX5000）を用いた薄膜試料の微細加工を実施した。
結果と考察 / Results and Discussion
FIB装置によってハイエントロピー型銅酸化物高温超伝導体薄膜の照射前後の微細加工を実施した。本実験で得られた試料に対して、透過型電子顕微鏡を用いた微細組織観察を実施し、薄片試料の照射前後の超伝導特性と微細組織との相関関係を見出す予定である。本実験は、核融合応用での実用化に繋がる新材料の可能性を探る重要な結果である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図１ FIBを用いた微細加工後の薄片試料AのSEM像
図2 FIBを用いた微細加工後の薄片試料BのSEM像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
公益財団法人 池谷科学技術振興財団の助成を受けて実施した。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件