【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.15】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24NM5493

利用課題名 / Title

層状化合物の単層剥離によるナノシートの合成

利用した実施機関 / Support Institute

物質・材料研究機構 / NIMS

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

ナノシート/ Nanosheet

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

坂井 伸行

所属名 / Affiliation

物質・材料研究機構

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

Ondrej Vesely

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

吉田 美沙

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

NM-622：走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

二次元材料はその独特な特性により大きな注目を集めており、剥離や堆積により薄膜や複合構造を形成できる。これらの材料の中でも、2Dゼオライトは、その大きな表面積、化学的安定性、触媒用途により際立っているが、層状ゼオライトの剥離は非常に困難な課題とされてきた。われわれはソフト化学プロセスにより層状ゼオライトの剥離を検討した。

実験 / Experimental

ソフト化学プロセスによりMCM-56やbiferなどの層状ゼオライトをマイルドな条件下で剥離させた。得られた分散液をスピンコート法などによりシリコンウェハー基板上に堆積させた。作製したサンプル表面を原子間力顕微鏡により観察した。

結果と考察 / Results and Discussion

得られた原子間力顕微鏡像（図1）に示すように、横サイズが50 nmから200 nm、厚みが2 nm程度の二次元異方性を有するナノシートが多く観察された。この厚みは、ゼオライトナノシート1枚分に相当し、層状ゼオライトが単層にまで剥離したことが示唆された。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図1　シリコンウェハー上に堆積したMCM-56ナノシートの原子間力顕微鏡像

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件