【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.03】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24KT0001

利用課題名 / Title

電子デバイスにおける薄膜層のモルフォロジーとデバイス特性に関する研究/開発

利用した実施機関 / Support Institute

京都大学 / Kyoto Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed

キーワード / Keywords

ナノカーボン/ Nano carbon,エレクトロデバイス/ Electronic device

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

田中 壮太郎

所属名 / Affiliation

シャープ株式会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

清村 勤

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

KT-403：モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

ディスプレイデバイスに用いる有機膜表面に意図的に形成した微小突起形状を調査するため、BF-STEM観察を行った。

実験 / Experimental

当社保有FIB装置にて薄片加工した断面試料に対して、JEM-ARM200Fを使い、BF-STEM観察を行った。

結果と考察 / Results and Discussion

JEM-ARM200Fを用いてBF(Blight Field)-STEM観察した結果を図に示す。断面から有機膜表面に意図的に形成した微小突起の仕上がり形状を確認でき、比較的左右対称となっていることが判明した。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図　有機膜表面微小突起の断面BF-STEM像

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

京大化研特定研究員の清村勤氏に技術補助していただき、ここに感謝の意を表します。

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件